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上(shang)海堅(jian)融實業(ye)I-V曲線(xian),C-V曲線圖(tu)半(ban)導體(ti)器(qi)件(jian)特(te)性(xing)分析解(jie)決(jue)方案(an)
上(shang)海堅(jian)融實業(ye)結合(he)美(mei)國(guo)吉(ji)時(shi)利(li)KEITHLEY4200-SCS成(cheng)功(gong)推出(chu)了(le)I-V曲(qu)線(xian),C-V測線半(ban)導體(ti)器(qi)件(jian)特(te)性(xing)分析解(jie)決(jue)方案(an)。當前(qian)對(dui)於實驗(yan)室研(yan)究(jiu)的所有半(ban)導體(ti)器(qi)件(jian),zui常見(jian)的電特(te)性(xing)分析方(fang)法(fa)是(shi):
I-V曲線(xian)圖(tu):電流與電壓 (I-V) 測試(shi)顯示了(le)流(liu)過(guo)的直(zhi)流(liu)電流和(he)電子(zi)器(qi)件(jian)以(yi)及(ji)器(qi)件(jian)兩(liang)端直(zhi)流(liu)電壓之間的關系(xi)。
C-V測線圖(tu):電容(rong)與電壓 (C-V) 測試(shi)用(yong)於分(fen)析半(ban)導體(ti)材(cai)料和(he)結構(gou)參(can)數(shu),例如表面(mian)俘(fu)獲(huo)電荷密(mi)度(du)、固定電荷和(he)氧化(hua)層(ceng)電荷。
C-V 曲(qu)線(xian) (高(gao)頻:100kHz):
摻(chan)雜類(lei)型(xing) – 氧化(hua)層(ceng)厚(hou)度 – 平(ping)帶電壓 – 閾(yu)值電壓 – 襯底(di)摻(chan)雜 – zui大(da)耗(hao)盡(jin)層(ceng)寬度(du) – 反型層(ceng)到平(ping)衡(heng)的靈敏(min)度(du):電壓掃描率(lv)和(he)方向(xiang) – 光效(xiao)應和(he)溫度(du)效(xiao)應。
I-V 曲線分(fen)析:
電荷建(jian)立(li) (測量電壓 - 時間圖(tu),用(yong)低電流源(yuan)); 氧化(hua)層(ceng)電容(rong)測定; 與 C-V 曲(qu)線比(bi)較。
C-V 曲(qu)線 (準靜態(tai)) 結(jie)合(he) C-V 曲(qu)線:
表面(mian)電位(wei) Ψs 與施(shi)加電壓的關系(xi) – Si (100) 的表面(mian)態(tai)密度(du) Dit = f (Ψs) 與 Si (111) 的相比(bi):方向(xiang)和(he)後(hou)處理(li)退(tui)火(huo)的影響(xiang)。
C-V 曲(qu)線(xian) (高(gao)頻:100kHz):
移動(dong)氧化(hua)層(ceng)電荷密(mi)度(du) (偏壓溫度應力:200°C,10 分鐘(zhong),±10V)
半(ban)導體(ti)器(qi)件(jian)實驗(yan)室的核心(xin)是(shi)參數(shu)分析儀。簡(jian)單(dan)易(yi)用(yong)的4200-SCS半(ban)導體(ti)特(te)性(xing)分析系(xi)統(tong)能進(jin)行實驗(yan)室級(ji)的直(zhi)流(liu)和(he)脈沖器(qi)件(jian)特(te)性(xing)分析、實時(shi)繪制以(yi)及(ji)高(gao)精(jing)密(mi)和(he)亞飛安(an)分(fen)辨(bian)率(lv)的分析。4200-SCS 結(jie)合(he)了(le) 4200-CVU 的集成(cheng)選件(jian),現能讓半(ban)導體(ti)測試(shi)用(yong)戶靈活地(di)創建(jian)集成(cheng)了 DC、脈沖和(he) C-V 測試(shi)功(gong)能的方案(an)。與傳(chuan)統(tong)模擬(ni)曲(qu)線(xian)跟(gen)蹤(zong)軟件(jian)非(fei)常類似(si),ACS 基(ji)礎版(ban)能快速(su)產生(sheng)電子(zi)器(qi)件(jian)或(huo)封(feng)裝產品的壹系(xi)列(lie)曲線(xian),而(er)且(qie)能靈活、容(rong)易(yi)地(di)對(dui)結(jie)果(guo)進(jin)行保(bao)存(cun)、比(bi)較和(he)關聯(lian)。
4200-SCS半(ban)導體(ti)特(te)性(xing)分析特(te)性(xing):
測量時間短(duan) – 安(an)裝簡單、直(zhi)觀(guan)的測試(shi)選(xuan)擇(ze)向(xiang)導並(bing)且(qie)內(nei)建(jian)測試(shi);
無需(xu)編(bian)寫代碼(ma) - ACS 具(ju)有直(zhi)觀(guan)的 GUI 能快速(su)簡化(hua) I-V 測試(shi)、分(fen)析和(he)結果(guo);
4200-SCS半(ban)導體(ti)優(you)化(hua)器(qi)件(jian)測試(shi)、驗(yan)證和(he)分析應用(yong);
硬件(jian)靈(ling)活性(xing) – 動(dong)態地(di)加(jia)入(ru)或(huo)移(yi)除設(she)備(bei)以滿足(zu)獨立(li)測試(shi)的需(xu)要(yao);
預裝應用(yong)庫 – 壹(yi)組(zu)極(ji)豐富(fu)的超快、易(yi)於訪(fang)問的測試(shi)庫(ku);
模(mo)塊化(hua)的靈活軟件(jian)架(jia)構(gou)便(bian)於擴(kuo)展系(xi)統(tong)並(bing)使系(xi)統(tong)應用(yong)能滿足(zu)的測試(shi)需(xu)要(yao);
免(mian)費(fei)可(ke)選後(hou)臺(tai)軟(ruan)件(jian)許(xu)可(ke),能容(rong)易(yi)地(di)在(zai)另(ling)壹(yi)臺(tai)PC上(shang)開發新的測試(shi)序列(lie),無需(xu)掛(gua)起正在執行工(gong)作(zuo)的系(xi)統(tong)。