上(shang)海(hai)堅融實業實驗(yan)納(na)米級(ji)材(cai)料(liao)和(he)器(qi)件(jian)開(kai)發(fa)測(ce)試方(fang)案(an)

    納(na)米級(ji)材(cai)料(liao)和(he)器(qi)件(jian)的(de)制(zhi)造通常始(shi)於化(hua)學、生物(wu)學或半(ban)導(dao)體器(qi)件(jian) / 微(wei)電(dian)子(zi)實驗(yan)室(shi)。納(na)米級(ji)材(cai)料(liao)和(he)器(qi)件(jian)的(de)電(dian)氣(qi)測(ce)量(liang)不(bu)僅揭(jie)示了電特(te)性(xing)，還揭(jie)示了納(na)米微(wei)粒(li)的狀(zhuang)態密(mi)度(du)等壹(yi)般特(te)性(xing)。這些(xie)基(ji)本特性可(ke)用(yong)於(yu)預測(ce)和(he)控(kong)制(zhi)物(wu)理特(te)性，例(li)如抗拉(la)強度、顏(yan)色以(yi)及(ji)電(dian)導(dao)性和(he)導(dao)熱性。然而，進行有意(yi)義的(de)測(ce)量(liang)需(xu)要高靈敏度的儀(yi)器(qi)以(yi)及(ji)復雜(za)的(de)探(tan)頭(tou)技術(shu)。於納(na)米技術(shu)研(yan)究(jiu)的儀(yi)器(qi)不(bu)斷增加(jia)，但(dan)是用(yong)戶(hu)必(bi)須(xu)了解所(suo)需(xu)的測(ce)量(liang)類(lei)型，以(yi)及(ji)哪(na)種(zhong)測(ce)試系(xi)統特點將(jiang)增加(jia)速(su)度(du)和(he)準確度。上(shang)海(hai)堅融實業有限(xian)公司(si)致(zhi)力(li)於(yu)實(shi)驗納(na)米級(ji)材(cai)料(liao)和(he)器(qi)件(jian)的(de)開(kai)發(fa)測(ce)試方(fang)案(an)，芝加(jia)哥(ge)大(da)學K. Elteto 和(he) X.M. Lin指(zhi)出由(you)壹(yi)系(xi)列(lie)金(jin)納(na)米粒(li)子(zi)形成(cheng)的(de)器(qi)件(jian)開(kai)發(fa)過程中，類(lei)似(si)納(na)米線(xian)、碳(tan)納(na)米管(guan)和(he)納(na)米晶(jing)體的結(jie)構(gou)常常表(biao)現出(chu)與(yu)眾不(bu)同(tong)的(de)特(te)點。分析這些(xie)特(te)點而不(bu)損壞*的結(jie)構(gou)需(xu)要能對源(yuan)進行嚴格(ge)控(kong)制(zhi)的(de)系(xi)統，以(yi)防(fang)止(zhi)器(qi)件(jian)自(zi)發(fa)熱。吉(ji)時利測(ce)量(liang)儀(yi)器(qi)將(jiang)這種(zhong)嚴格(ge)控(kong)制(zhi)與(yu)超(chao)快(kuai)測(ce)量(liang)速(su)度(du)和(he)靈敏度結合在(zai)靈活、模塊(kuai)化(hua)的(de)結構(gou)中從(cong)而很(hen)容易(yi)適應(ying)不(bu)斷變化的測(ce)試要求(qiu)。

    低(di)電平(ping)脈(mai)沖(chong)測(ce)量(liang)涉(she)及(ji)輸出電流(liu)脈(mai)沖(chong)並(bing)測(ce)量(liang)所產(chan)生的電壓(ya)。因為(wei)美(mei)國吉(ji)時利KEITHLEY6221/2812A的(de)組合用(yong)於(yu)解(jie)決(jue)在(zai)低(di)信(xin)號(hao)電(dian)平(ping)、低(di)電平(ping)噪(zao)聲條(tiao)件(jian)下(xia)的(de)脈(mai)沖(chong)特(te)性分(fen)析問(wen)題。然(ran)而，6221/2182A恒流(liu)源(yuan)納(na)伏表(biao)組合與以(yi)往所有的(de)測(ce)試配(pei)置在(zai)壹(yi)些(xie)重(zhong)要方(fang)面(mian)不(bu)相(xiang)同(tong)。壹(yi)個(ge)區別是所有脈(mai)沖(chong)測(ce)量(liang)都是差分 (或相(xiang)對) 測(ce)量(liang)。這意味(wei)著(zhe)會給(gei)測(ce)量(liang)信(xin)號(hao)增(zeng)加(jia)誤(wu)差 (例如偏移、漂移、噪(zao)聲和(he)熱電的 EMF) 的背景電(dian)壓(ya)被消除(chu)了。

由於(yu)熱電壓(ya)和(he)儀(yi)表偏移產(chan)生的直(zhi)流(liu)偏移會給(gei)測(ce)量(liang)的電(dian)壓(ya)帶來(lai)嚴重(zhong)誤(wu)差。

使用(yong) delta 模(mo)式(shi)測(ce)量(liang)技術(shu)消除(chu)偏移。

    進行相(xiang)對測(ce)量(liang)消除(chu)偏移誤(wu)差。
測(ce)量(liang)的 delta 電(dian)壓(ya)對電(dian)流(liu)脈(mai)沖(chong)產(chan)生正確的電壓(ya)響(xiang)應。
兩(liang)點(dian) delta 模式測(ce)量(liang)的操(cao)作是輸出電流(liu)脈(mai)沖(chong)並(bing)且在每(mei)次(ci)脈(mai)沖(chong)之(zhi)前和(he)脈(mai)沖(chong)期(qi)間各(ge)進行壹(yi)次(ci)測(ce)量(liang)。得到這兩(liang)次(ci)測(ce)量(liang)的差值就(jiu)消除(chu)了任何恒定(ding)的熱電偏移，保(bao)留了真實(shi)的(de)電壓(ya)值。然(ran)而，兩(liang)點(dian)測(ce)量(liang)法(fa)不(bu)能消(xiao)除(chu)隨時間漂移的熱電偏移。使用(yong) delta 方(fang)法(fa)中的(de)第三(san)個(ge)測(ce)量(liang)點就(jiu)能消(xiao)除(chu)漂移的偏移量(liang)。

    壹(yi)種(zhong)可(ke)選的(de)第三(san)個(ge)測(ce)量(liang)點能(neng)幫助消除(chu)移動的偏移量(liang)。
第三(san)個(ge)測(ce)量(liang)點是可選的，但是並(bing)不(bu)可取。例(li)如，取決(jue)於(yu)器(qi)件(jian)的(de)定(ding)時特(te)性(xing)，如果(guo)輸(shu)出的電流(liu)脈(mai)沖(chong)對(dui)器(qi)件(jian)有長(chang)期(qi)效應(ying)，那(na)麽由(you)於 DUT 脈(mai)沖(chong)帶(dai)來的(de)熱量(liang)，用(yong)於(yu)取消(xiao)移動偏移的第三(san)測(ce)量(liang)點可(ke)能包含誤(wu)差，因此弊(bi)大(da)於利。