基礎(chu)信息Product information

產品(pin)名稱：上海蘇(su)州杭(hang)州合(he)肥(fei)南(nan)京(jing)高低(di)溫真(zhen)空探針臺

產品(pin)型(xing)號(hao)：

更(geng)新(xin)時(shi)間：2025-06-11

產品(pin)簡(jian)介：

堅融(rong)實業(ye)——壹家致力於(yu)為祖國用(yong)戶(hu)提供(gong)上海蘇(su)州杭(hang)州合(he)肥(fei)南(nan)京(jing)高低(di)溫真(zhen)空探針臺儀器設備(bei)、測試方案、技術(shu)培訓、維(wei)修(xiu)計(ji)量(liang)全(quan)面服務的(de)儀(yi)器設備(bei)綜(zong)合(he)服務商。

產品(pin)特(te)性(xing)Product characteristics

專(zhuan)業(ye)儀器設備(bei)與測試方案供應商——上海堅融(rong)實業(ye)有限公司(si)JETYOO INDUSTRIAL & 堅友（上海）測(ce)量儀(yi)器有限公司(si)JETYOO INSTRUMENTS，為原(yuan)安(an)捷倫(lun)Agilent【現(xian)是(shi)德(de)KEYSIGHT】品(pin)牌(pai)技(ji)術(shu)經理-堅JET與吉時利(li)KEITHLEY【現泰(tai)克Tektronix】品(pin)牌(pai)產品(pin)經(jing)理-融(rong)YOO於(yu)2011年共同創辦，專(zhuan)註(zhu)工(gong)業(ye)測試領(ling)域十六(liu)年，誌在(zai)破舊立新(xin)！*進(jin)口(kou)儀器設備(bei)大多數廠(chang)家(jia)僅在(zai)國內(nei)設銷(xiao)售點，但技術(shu)支(zhi)持(chi)薄(bo)弱(ruo)甚(shen)至(zhi)沒(mei)有，而代(dai)理經(jing)銷(xiao)商也只做商務(wu)，不(bu)做售前(qian)技(ji)術(shu)支(zhi)持(chi)/測(ce)試方案和(he)售後使用(yong)培訓/維(wei)修(xiu)校(xiao)準的(de)空(kong)白(bai)。我們(men)的(de)技(ji)術(shu)型(xing)銷售(shou)均(jun)為本科(ke)以(yi)上學歷，且(qie)均有10年以(yi)上測試(shi)行(xing)業(ye)經驗，以(yi)我們(men)*進(jin)*的(de)經(jing)營(ying)理念，與客戶互惠互利(li)合(he)作雙(shuang)贏，重在(zai)協助(zhu)用(yong)戶(hu)采購與技(ji)術(shu)工程(cheng)師(shi)的(de)工(gong)作(zuo)，提供(gong)較(jiao)有競爭(zheng)力(li)的(de)供(gong)應(ying)鏈(lian)管(guan)理與(yu)售(shou)前(qian)售(shou)後技術(shu)支(zhi)持(chi)。堅融(rong)實業(ye)——壹(yi)家致(zhi)力(li)於(yu)為祖國用(yong)戶(hu)提供(gong)上海蘇(su)州杭(hang)州合(he)肥(fei)南(nan)京(jing)高低(di)溫真(zhen)空探針臺儀器設備(bei)、測試方案、技術(shu)培訓、維(wei)修(xiu)計(ji)量(liang)全(quan)面服務的(de)儀(yi)器設備(bei)綜(zong)合(he)服務商。

上海蘇(su)州杭(hang)州合(he)肥(fei)南(nan)京(jing)高低(di)溫真(zhen)空探針臺測試(shi)系(xi)統(tong)特(te)點(dian)/應用(yong)

2至(zhi)6英寸樣(yang)品(pin)臺

高真(zhen)空(kong)腔(qiang)體(ti)

防(fang)輻(fu)射(she)屏設計(ji)，樣(yang)品(pin)溫度(du)均勻(yun)性(xing)更(geng)好(hao)

77K-675K高低溫環(huan)境

兼容(rong)IV/CV/RF測(ce)試

外(wai)置(zhi)多(duo)探針臂(bi)，移(yi)動行(xing)程大

經(jing)濟實用(yong)，可(ke)無縫升級

極低溫測(ce)試

因為(wei)晶(jing)圓在(zai)低溫大氣(qi)環境測試時，空氣(qi)中(zhong)的(de)水汽會凝(ning)結在(zai)晶圓上，會導(dao)致漏(lou)電過(guo)大或者(zhe)探針無(wu)法(fa)接觸電極而使測試失敗(bai)。避免這(zhe)些需(xu)要把(ba)真(zhen)空(kong)腔內(nei)的(de)水汽在(zai)測試前(qian)用(yong)泵抽走(zou)，並且(qie)保持(chi)整個測(ce)試過(guo)程(cheng)泵的(de)運(yun)轉(zhuan)。

高(gao)溫無(wu)氧(yang)化測(ce)試(shi)

當(dang)晶圓加熱(re)至(zhi)300℃,400℃,500℃甚至(zhi)更高溫度(du)時，氧(yang)化現(xian)象(xiang)會越來(lai)越明顯(xian)，並且(qie)溫度(du)越高氧(yang)化越嚴重(zhong)。過(guo)度(du)氧(yang)化會(hui)導(dao)致晶(jing)圓電性(xing)誤(wu)差(cha)，物(wu)理和(he)機械(xie)形變(bian)。避免這(zhe)些需(xu)要把(ba)真(zhen)空(kong)腔內(nei)的(de)氧(yang)氣(qi)在(zai)測試前(qian)用(yong)泵抽走(zou)，並且(qie)保持(chi)整個測(ce)試過(guo)程(cheng)泵的(de)運(yun)轉(zhuan)。

晶圓測試過(guo)程(cheng)中(zhong)溫度(du)在(zai)低溫和(he)高溫中(zhong)變(bian)換，因為(wei)熱(re)脹冷(leng)縮(suo)現(xian)象(xiang)，定位好的(de)探針與(yu)器件電極間會(hui)有相對(dui)位(wei)移(yi)，這(zhe)時需(xu)要針(zhen)座(zuo)的(de)重(zhong)新(xin)定(ding)位，針(zhen)座(zuo)位(wei)於(yu)腔體外(wai)部(bu)。我(wo)們(men)也可以(yi)選擇使用(yong)操(cao)作桿控制的(de)自(zi)動化針(zhen)座(zuo)來(lai)調(tiao)整探針的(de)位(wei)置(zhi)。

腔(qiang)體規格

樣(yang)品(pin)臺尺寸：2英(ying)寸/4英(ying)寸/6英(ying)寸

樣(yang)品(pin)固定：彈(dan)簧壓片

觀(guan)察(cha)窗(chuang)口(kou)：2英寸/4英(ying)寸/6英(ying)寸

真空度(du)：10-6torr

探針臂(bi)接(jie)口(kou)：4~6個探針臂(bi)接(jie)口(kou)

其(qi)他接口(kou)：電信接口(kou)、真空(kong)接(jie)口(kou)、光(guang)纖(xian)接(jie)口(kou)、冷(leng)源(yuan)接(jie)口(kou)

制冷(leng)方(fang)式(shi)：液氮/液氦(hai)/制冷(leng)機

溫度(du)範(fan)圍：77K到573K/4.5K到573K

溫控(kong)精度(du)：0.1K/0.01K/0.001K

穩(wen)定(ding)性(xing)：±1K/±0.1K/±0.01K

外(wai)形：880mm長(chang)*880mm寬(kuan)*600mm高(gao)/980mm長(chang)*980mm寬(kuan)*600mm高(gao)

重量(liang)：約(yue)100千克(ke)/120千克(ke)

光(guang)學系(xi)統(tong)

顯(xian)微(wei)鏡類(lei)型(xing)：單(dan)筒(tong)顯(xian)微(wei)鏡/體式(shi)顯(xian)微(wei)鏡/金(jin)相顯(xian)微(wei)鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移(yi)動(dong)行(xing)程：水平360度(du)轉，Z軸(zhou)行(xing)程50.8mm

光(guang)源(yuan)：外(wai)置(zhi)LED環(huan)形光(guang)源(yuan)/同軸光(guang)源(yuan)

CCD：200萬(wan)像素(su)/500萬(wan)像素(su)/1200萬(wan)像素(su)

探針臂(bi)

X-Y-Z移動(dong)行(xing)程：50mm*50mm*50mm

結構：外(wai)置(zhi)探針臂(bi)，真(zhen)空波紋(wen)管(guan)結構

移動精(jing)度(du)：10微(wei)米/1微(wei)米

線(xian)纜(lan)：同軸線(xian)/三軸(zhou)線(xian)/射頻(pin)線(xian)

漏電精(jing)度(du)：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈(dan)簧(huang)固定/管(guan)狀固定

接(jie)頭(tou)類(lei)型(xing)：BNC/三軸(zhou)/香蕉(jiao)頭/鱷(e)魚夾(jia)/接線(xian)端(duan)子(zi)

頻(pin)率(lv)支(zhi)持(chi)：DC-67GHZ

針尖(jian)直(zhi)徑：0.5微(wei)米/1微(wei)米/2微(wei)米/5微(wei)米/10微(wei)米/20微(wei)米

其(qi)他(ta)組件

真空組件

分子泵組/機械(xie)泵/離(li)子泵

冷(leng)源(yuan)組件

50L/100L液氮罐/液氦(hai)罐(guan)/制冷(leng)機

可選附件

超高溫配(pei)件

顯(xian)示器

轉接(jie)頭(tou)

射頻(pin)測試配件

屏蔽箱(xiang)

光(guang)學平(ping)臺

鍍金(jin)卡(ka)盤(pan)

光(guang)電測(ce)試配件

高壓測試(shi)配(pei)件

分子泵組

激(ji)光(guang)系(xi)統(tong)

氣(qi)敏測試配件

上海蘇(su)州杭(hang)州合(he)肥(fei)南(nan)京(jing)高溫加熱(re)探針臺系(xi)統(tong)特(te)點(dian)/應用(yong)

最(zui)大可用(yong)於(yu)8英寸以(yi)內(nei)樣(yang)品(pin)測(ce)試

同軸絲杠(gang)傳(chuan)動(dong)結構，線(xian)性(xing)移(yi)動(dong)

可滿(man)足500度(du)高溫測(ce)試

溫度(du)穩(wen)定(ding)性(xing)高(gao)

兼容(rong)IV/CV/RF測(ce)試

結構設(she)計(ji)簡(jian)單(dan)合(he)理，操(cao)作(zuo)方便(bian)

探針臺可根(gen)據客戶要求(qiu)定(ding)制

臺體規(gui)格

樣(yang)品(pin)臺尺寸：4英(ying)寸/6英(ying)寸/8英(ying)寸

水平旋(xuan)轉(zhuan)：可(ke)360度(du)旋(xuan)轉(zhuan)，可(ke)微(wei)調(tiao)15度(du)，精度(du)0.1度(du)，帶角(jiao)度(du)鎖死裝(zhuang)置(zhi)

X-Y移(yi)動(dong)行(xing)程：4英(ying)寸*4英(ying)寸/6英(ying)寸*6英(ying)寸/8英(ying)寸*8英(ying)寸

X-Y移動精(jing)度(du)：10微(wei)米/1微(wei)米

樣(yang)品(pin)固定：真(zhen)空吸(xi)附，中(zhong)心(xin)吸(xi)附孔，多(duo)圈吸(xi)附環

針(zhen)座平臺：U型(xing)針座(zuo)平臺，最(zui)多(duo)可(ke)放置(zhi)8個探針座(zuo)

背(bei)電極測試(shi)：樣(yang)品(pin)臺電學獨(du)立懸(xuan)空(kong)，4mm插(cha)孔可接(jie)背(bei)電極

溫度(du)範(fan)圍：室溫到300度(du)/室溫到400度(du)/室溫到600度(du)

溫控(kong)精度(du)：1度(du)/0.1度(du)/0.01度(du)

穩(wen)定(ding)性(xing)：±1度(du)/±0.1度(du)

外形尺(chi)寸：400mm長(chang)*400mm寬(kuan)*600mm高(gao)/580mm長(chang)*480mm寬(kuan)*600mm高(gao)/840mm長(chang)*600mm寬(kuan)*700mm高(gao)

重量(liang)：約(yue)30千克(ke)/60千克(ke)/100千克(ke)

光(guang)學系(xi)統(tong)

顯(xian)微(wei)鏡類(lei)型(xing)：單(dan)筒(tong)顯(xian)微(wei)鏡/體式(shi)顯(xian)微(wei)鏡/金(jin)相顯(xian)微(wei)鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移(yi)動(dong)行(xing)程：X-Y軸(zhou)行(xing)程2英(ying)寸*2英(ying)寸/水平360度(du)旋(xuan)轉(zhuan)，Z軸(zhou)行(xing)程50.8mm

光(guang)源(yuan)：外(wai)置(zhi)LED環(huan)形光(guang)源(yuan)/同軸光(guang)源(yuan)

CCD：200萬(wan)像素(su)/500萬(wan)像素(su)/1200萬(wan)像素(su)

定(ding)位器

X-Y-Z移動(dong)行(xing)程：12mm*12mm*12mm

移(yi)動精度(du)：10微(wei)米/2微(wei)米/0.7微(wei)米/0.5微(wei)米

吸(xi)附方式(shi)：磁(ci)力吸(xi)附/真空(kong)吸(xi)附

線(xian)纜(lan)：同軸線(xian)/三軸(zhou)線(xian)

漏電精(jing)度(du)：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈(dan)簧(huang)固定/管(guan)狀固定

接(jie)頭(tou)類(lei)型(xing)：BNC/三軸(zhou)/香蕉(jiao)頭/鱷(e)魚夾(jia)/接線(xian)端(duan)子(zi)

針(zhen)尖(jian)直(zhi)徑：0.2微(wei)米/1微(wei)米/2微(wei)米/5微(wei)米/10微(wei)米/20微(wei)米

針(zhen)尖(jian)材質：鎢(wu)鋼/鈹(pi)銅

可(ke)選附件

水冷(leng)裝(zhuang)置(zhi)

顯(xian)示器

轉接(jie)頭(tou)

射頻(pin)測試配件

屏蔽箱(xiang)

光(guang)學平(ping)臺

鍍金(jin)卡(ka)盤(pan)

光(guang)電測(ce)試配件

高壓測試(shi)配(pei)件

顯(xian)微(wei)鏡快速傾(qing)仰(yang)裝(zhuang)置(zhi)

激(ji)光(guang)系(xi)統(tong)

探針卡(ka)夾具(ju)

上海蘇(su)州杭(hang)州合(he)肥(fei)南(nan)京(jing)高低(di)溫探針臺測試(shi)系(xi)統(tong)特(te)點(dian)/應用(yong)

最(zui)大可用(yong)於(yu)12英寸以(yi)內(nei)樣(yang)品(pin)測(ce)試

采(cai)用(yong)密閉腔(qiang)結構，屏蔽外(wai)部(bu)電信幹(gan)擾同時保持(chi)氮氣(qi)正壓環境(jing)下(xia)樣(yang)品(pin)在(zai)低溫時(shi)無結霜(shuang)

優化的(de)腔(qiang)體(ti)保(bao)溫結構可(ke)以(yi)極大的(de)減(jian)少液氮消(xiao)耗(hao)量

可升降調(tiao)節適合(he)加裝(zhuang)探針卡(ka)

可(ke)搭配(pei)多(duo)種(zhong)類(lei)型(xing)顯(xian)微(wei)鏡

結構模(mo)塊(kuai)化設(she)計(ji)，可(ke)無(wu)縫升級

探針臺可根(gen)據客戶要求(qiu)定(ding)制。

臺體規(gui)格

樣(yang)品(pin)臺尺寸：4英(ying)寸/6英(ying)寸/8英(ying)寸

水平旋(xuan)轉(zhuan)：可(ke)360度(du)旋(xuan)轉(zhuan)，可(ke)微(wei)調(tiao)15度(du)，精度(du)0.1度(du)，帶角(jiao)度(du)鎖死裝(zhuang)置(zhi)

X-Y移(yi)動(dong)行(xing)程：4英(ying)寸*4英(ying)寸/6英(ying)寸*6英(ying)寸/8英(ying)寸*8英(ying)寸

X-Y移動精(jing)度(du)：10微(wei)米/1微(wei)米

樣(yang)品(pin)固定：真(zhen)空吸(xi)附，中(zhong)心(xin)吸(xi)附孔，多(duo)圈吸(xi)附環

針(zhen)座平臺：U型(xing)針座(zuo)平臺，最(zui)多(duo)可(ke)放置(zhi)8個探針座(zuo)

背(bei)電極測試(shi)：樣(yang)品(pin)臺電學獨(du)立懸(xuan)空(kong)，4mm插(cha)孔可接(jie)背(bei)電極

溫度(du)範(fan)圍：室溫到300度(du)/室溫到400度(du)/室溫到600度(du)

溫控(kong)精度(du)：1度(du)/0.1度(du)/0.01度(du)

穩(wen)定(ding)性(xing)：±1度(du)/±0.1度(du)

外形尺(chi)寸：400mm長(chang)*400mm寬(kuan)*600mm高(gao)/580mm長(chang)*480mm寬(kuan)*600mm高(gao)/840mm長(chang)*600mm寬(kuan)*700mm高(gao)

重量(liang)：約(yue)30千克(ke)/60千克(ke)/100千克(ke)

光(guang)學系(xi)統(tong)

顯(xian)微(wei)鏡類(lei)型(xing)：單(dan)筒(tong)顯(xian)微(wei)鏡/體式(shi)顯(xian)微(wei)鏡/金(jin)相顯(xian)微(wei)鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移(yi)動(dong)行(xing)程：X-Y軸(zhou)行(xing)程2英(ying)寸*2英(ying)寸/水平360度(du)旋(xuan)轉(zhuan)，Z軸(zhou)行(xing)程50.8mm

光(guang)源(yuan)：外(wai)置(zhi)LED環(huan)形光(guang)源(yuan)/同軸光(guang)源(yuan)

CCD：200萬(wan)像素(su)/500萬(wan)像素(su)/1200萬(wan)像素(su)

定(ding)位器

X-Y-Z移動(dong)行(xing)程：12mm*12mm*12mm

移(yi)動精度(du)：10微(wei)米/2微(wei)米/0.7微(wei)米/0.5微(wei)米

吸(xi)附方式(shi)：磁(ci)力吸(xi)附/真空(kong)吸(xi)附

線(xian)纜(lan)：同軸線(xian)/三軸(zhou)線(xian)

漏電精(jing)度(du)：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈(dan)簧(huang)固定/管(guan)狀固定

接(jie)頭(tou)類(lei)型(xing)：BNC/三軸(zhou)/香蕉(jiao)頭/鱷(e)魚夾(jia)/接線(xian)端(duan)子(zi)

針(zhen)尖(jian)直(zhi)徑：0.2微(wei)米/1微(wei)米/2微(wei)米/5微(wei)米/10微(wei)米/20微(wei)米

針(zhen)尖(jian)材質：鎢(wu)鋼/鈹(pi)銅

可(ke)選附件

加熱(re)臺

顯(xian)示器

轉接(jie)頭(tou)

射頻(pin)測試配件

屏蔽箱(xiang)

光(guang)學平(ping)臺

鍍金(jin)卡(ka)盤(pan)

光(guang)電測(ce)試配件

高壓測試(shi)配(pei)件

顯(xian)微(wei)鏡快速傾(qing)仰(yang)裝(zhuang)置(zhi)

激(ji)光(guang)系(xi)統(tong)

探針卡(ka)夾具(ju)