產(chan)品名稱:TH513半導(dao)體(ti)器件C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)
產(chan)品型號:
更新(xin)時間(jian):2025-11-05
產品簡介(jie):
國產TH513半(ban)導(dao)體(ti)器件C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)替(ti)代(dai)進口(kou),測MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路(lu)半導(dao)體(ti)功率(lv)器件,曲線(xian)圖示(shi)儀(yi)
“精(jing)"——上(shang)海(hai)市先JIN企業!
“專"——專註(zhu)工(gong)業(ye)測試十六(liu)年!
“特(te)"——德(de)國(guo)萊(lai)茵(yin)TUV認證(zheng)供應(ying)商(shang)!
“新(xin)"——註冊(ce)資本實繳(jiao)壹(yi)仟(qian)萬(wan)元!實繳(jiao)資金行業(ye)中(zhong)居(ju)前茅!抗金融風(feng)險(xian)能力強(qiang)!
TH513半(ban)導(dao)體(ti)器件C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)
性(xing)能(neng)特(te)點
壹(yi)體化(hua)設計:
LCR+柵(zha)極電壓VGS
+漏極電壓VDS
+通(tong)道切(qie)換+上位機軟件
• 柵(zha)極電壓VGS:0 - ±40V
• 漏極電壓VDS:0 - ±200V/±1500V/±3000V
• 單(dan)管器件(點測)、模組(zu)器件(列(lie)表(biao)掃描)、曲(qu)線(xian)掃描(選件(jian))
三種(zhong)測試方式
• 四寄生(sheng)參數(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)
同(tong)屏壹鍵(jian)測量及顯(xian)示(shi)
• 標配(pei)2通(tong)道(dao),可(ke)擴展(zhan)至(zhi)6通道,可(ke)測單管、多(duo)芯或模組(zu)器件 (TH513僅1通(tong)道)
• CV曲(qu)線掃描、Ciss-Rg曲(qu)線(xian)掃描
• 電(dian)容快速(su)充(chong)電技術(shu),實現(xian)快速(su)測試
• 接(jie)觸(chu)檢(jian)查(zha)Cont
• 通(tong)斷測試OP_SH
• 自動(dong)延(yan)時(shi)設(she)置
• Crss Plus功(gong)能:解(jie)決(jue)高(gao)頻下Crss負值(zhi)問題
• 高(gao)壓擊穿(chuan)保護:DS瞬(shun)間(jian)短路(lu),保護儀(yi)器
• Interlock安(an)全(quan)鎖(suo)功能(neng):增加(jia)高(gao)壓防(fang)護墻(qiang)(僅(jin)TH513)
• Cs-V功(gong)能:二極管結(jie)電容CV特(te)性(xing)測試分析(xi)
• 等效(xiao)模式轉換(huan)功能(neng),可(ke)選Cs或Cp模式
• 10檔(dang)分選
TH513半(ban)導(dao)體(ti)器件C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)應(ying)用(yong)
• 半(ban)導(dao)體(ti)元件/功(gong)率(lv)元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路(lu)、光電(dian)子(zi)芯片(pian)等寄(ji)生電(dian)容測試、C-V特(te)性(xing)分析(xi)
• 半(ban)導(dao)體(ti)材料(liao)
晶圓(yuan)、C-V特(te)性(xing)分析(xi)
• 液(ye)晶材料(liao)
彈性(xing)常(chang)數(shu)分析(xi)
標配(pei)RS232 √ USB HOST √ USB DEVICE √ LAN √ HANDLER √
產(chan)品型號TH511TH512TH513
通(tong)道數(shu)2(可(ke)選配(pei)4/6通(tong)道(dao))1
顯(xian)示(shi)顯(xian)示(shi)器10.1英(ying)寸(cun)(對(dui)角線(xian))電(dian)容觸摸屏
比(bi)例(li)16:9
分辨率(lv)1280×RGB×800
測量參數CISS、COSS、CRSS、Rg,四參數任(ren)意(yi)選擇(ze)
測試頻率(lv)範(fan)圍1kHz-2MHz
精(jing)度(du)0.01%
分辨率(lv)10mHz1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz100.000kHz-999.999kHz
10Hz1.00000MHz-2.00000MHz
測試電(dian)平電(dian)壓範圍5mVrms-2Vrms
準(zhun)確度±(10%×設(she)定(ding)值(zhi)+2mV)
分辨率(lv)1mVrms0.5Vrms-1Vrms
10mVrms1Vrms-2Vrms
VGS電(dian)壓範(fan)圍0 - ±40V
準(zhun)確度1%×設(she)定(ding)電(dian)壓+8mV
分辨率(lv)1mV0V - ±10V
10mV±10V - ±40V
VDS電(dian)壓範(fan)圍0 - ±200V0 - ±1500V0 - ±3000V
準(zhun)確度1%×設(she)定(ding)電(dian)壓+100mV
輸(shu)出(chu)阻抗100Ω,±2%@1kHz
數(shu)學(xue)運(yun)算與(yu)標稱值的(de)絕(jue)對偏(pian)差Δ,與(yu)標稱值的(de)百分比偏差Δ%
校(xiao)準(zhun)功能開路(lu)OPEN、短路(lu)SHORT、負載(zai)LOAD、夾(jia)具校(xiao)準(zhun)
測量平均(jun)1-255次(ci)
AD轉換(huan)時間(jian)(ms/次(ci))快(kuai)速+:2.5ms(>5kHz)
快(kuai)速:11ms,
中(zhong)速(su):90ms
慢速(su):220ms
最高(gao)準(zhun)確度0.5%(具體(ti)參考說明書)
CISS、COSS、CRSS0.00001pF - 9.99999F
Rg0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%±(0.000% - 999.9%)
多(duo)功能(neng)參數列(lie)表(biao)掃描點(dian)數50點(dian),每個點(dian)可(ke)設置(zhi)平均(jun)數,每個點(dian)可(ke)單獨(du)分選
參數測試頻率(lv)、Vg、Vd、通道
觸(chu)發(fa)模式順(shun)序SEQ:當(dang)壹(yi)次(ci)觸(chu)發(fa)後,在(zai)所有(you)掃描點(dian)測量,/EOM/INDEX只輸(shu)出(chu)壹(yi)次(ci)
步進STEP:每次(ci)觸(chu)發(fa)執行(xing)壹(yi)個掃描點(dian)測量,每點(dian)均(jun)輸(shu)出(chu)/EOM/INDEX,但列(lie)表(biao)掃描比(bi)較器結果只在(zai)最後(hou)的(de)/EOM才輸(shu)出(chu)
圖形(xing)掃描掃描點(dian)數(shu)任(ren)意(yi)點可(ke)選,最多(duo)1001點(dian)
結(jie)果顯(xian)示(shi)同(tong)壹參數、不(bu)同(tong)Vg的(de)多(duo)條(tiao)曲線;同壹(yi)Vg、不(bu)同(tong)參數多(duo)條(tiao)曲線
顯(xian)示(shi)範(fan)圍實(shi)時自動(dong)、鎖(suo)定(ding)
坐標標尺對(dui)數、線(xian)性(xing)
掃描參數Vg、Vd、Freq
觸(chu)發(fa)方式手(shou)動(dong)觸發(fa)壹次(ci),從(cong)起點(dian)到(dao)終(zhong)點(dian)壹(yi)次(ci)掃描完(wan)成(cheng),下個觸(chu)發(fa)信號(hao)啟動(dong)新壹(yi)次(ci)掃描
結(jie)果保存(cun)圖形(xing)、文(wen)件(jian)
比(bi)較器Bin分檔10Bin、PASS、FAIL
Bin偏(pian)差設(she)置偏(pian)差值(zhi)、百分偏差值(zhi)、關
Bin模(mo)式容差
Bin計(ji)數0-99999
檔(dang)判(pan)別(bie)每檔(dang)最多(duo)可(ke)設置(zhi)四個參數極限範圍,四個測試參數結(jie)果設檔(dang)範(fan)圍內顯(xian)示(shi)對(dui)應(ying)檔(dang)號(hao),超(chao)出設(she)定(ding)最大(da)檔號(hao)範圍則(ze)顯(xian)示(shi)FAIL,未(wei)設(she)置(zhi)上(shang)下限的(de)測試參數自動(dong)忽(hu)略(lve)檔判(pan)別(bie)
PASS/FAIL指(zhi)示(shi)滿(man)足Bin1-10,前(qian)面板PASS燈(deng)亮,否則(ze)FAIL燈(deng)亮
存(cun)儲調用內(nei)部約100M非(fei)易失(shi)存(cun)儲器測試設(she)定(ding)文(wen)件(jian)
外(wai)置USB測試設(she)定(ding)文(wen)件(jian)、截屏圖形(xing)、記(ji)錄(lu)文(wen)件(jian)
鍵(jian)盤(pan)鎖(suo)定(ding)可(ke)鎖(suo)定(ding)前(qian)面板按(an)鍵(jian),其他功(gong)能待(dai)擴(kuo)充(chong)
接(jie)口(kou)USB HOST2個USB HOST接(jie)口(kou),可(ke)同時(shi)接(jie)鼠標、鍵(jian)盤(pan),U盤(pan)同時(shi)只能(neng)使(shi)用壹(yi)個
USB DEVICE通(tong)用串(chuan)行總(zong)線插(cha)座(zuo),小(xiao)型(xing)B類(4個接(jie)觸(chu)位置);與(yu)USB TMC-USB488和(he)USB2.0相符(fu)合(he),陰接(jie)頭用於(yu)連(lian)接(jie)外(wai)部控(kong)制器。
LAN10/100M以太(tai)網,8引(yin)腳(jiao),兩(liang)種(zhong)速(su)度選擇(ze)
HANDLER用(yong)於(yu)Bin分檔信號輸(shu)出(chu)
RS232C標準(zhun)9針(zhen),交叉
RS485標準(zhun)差分線
GPIB24針(zhen)D-Sub端口(D-24 類(lei)),陰接(jie)頭與(yu)IEEE488.1、2和(he)SCPI兼(jian)容
開機預(yu)熱(re)時間(jian)60分鐘
輸(shu)入電壓100-120VAC/198-242VAC可(ke)選擇(ze),47-63Hz
功(gong)耗(hao)不(bu)小(xiao)於(yu)130VA
尺(chi)寸(WxHxD)mm430x177x405
重(zhong)量16kg
技(ji)術參數
產(chan)品型號TH511 TH512 TH513
通(tong)道數(shu)2(可(ke)選配(pei)4/6通(tong)道(dao))
顯(xian)示(shi)
顯(xian)示(shi)器10.1英(ying)寸(cun)(對(dui)角線(xian))電(dian)容觸摸屏
比(bi)例(li)16:9
分辨率(lv)1280×RGB×800
測量參數Ciss、
Coss、Crss、Rg,四參數任(ren)意(yi)選擇(ze)
測試頻率(lv)
範(fan)圍1kHz-2MHz
精(jing)度(du)0.01%
分辨率(lv)
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
測試電(dian)平
電(dian)壓範圍5mVrms-1Vrms
準(zhun)確度±(10%×設(she)定(ding)值(zhi)+2mV)
分辨率(lv)1mVrms 5mVrms-1Vrms
VGS
電(dian)壓
範(fan)圍0 - ±40V
準(zhun)確度1%×設(she)定(ding)電(dian)壓+8mV
分辨率(lv)
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V - ±40V
VDS
電(dian)壓範圍0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V
準(zhun)確度1%×設(she)定(ding)電(dian)壓+100mV
輸(shu)出(chu)阻抗100Ω,±2%@1kHz
數(shu)學(xue)運(yun)算與(yu)標稱值的(de)絕(jue)對偏(pian)差Δ,與(yu)標稱值的(de)百分比偏差Δ%
校(xiao)準(zhun)功能開路(lu)OPEN、短路(lu)SHORT、負載(zai)LOAD、夾(jia)具校(xiao)準(zhun)
測量平均(jun)1-255次(ci)
AD轉換(huan)時間(jian)(ms/次(ci))
快(kuai)速+:2.5ms(>5kHz)
快(kuai)速:11ms
中(zhong)速(su):90ms
慢速(su):220ms
最高(gao)準(zhun)確度0.5%(具體(ti)參考說明書)
Ciss、Coss、Crss 0.00001pF - 9.99999F
Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ% ±(0.000% - 999.9%)
多(duo)功能(neng)參數
列(lie)表(biao)掃描
點(dian)數50點(dian),每個點(dian)可(ke)設置(zhi)平均(jun)數,每個點(dian)可(ke)單獨(du)分選
參數測試頻率(lv)、Vg、Vd、通道
觸(chu)發(fa)模式
順(shun)序SEQ:當(dang)壹(yi)次(ci)觸(chu)發(fa)後,在(zai)所有(you)掃描點(dian)測量,/EOM/INDEX只輸(shu)出(chu)壹(yi)次(ci)
步進STEP:每次(ci)觸(chu)發(fa)執行(xing)壹(yi)個掃描點(dian)測量,每點(dian)均(jun)輸(shu)出(chu)/EOM/INDEX,但列(lie)表(biao)掃描比(bi)較器結果只在(zai)最
後(hou)的(de)/EOM才輸(shu)出(chu)
圖形(xing)掃描
掃描點(dian)數(shu)任意(yi)點可(ke)選,最多(duo)1001點(dian)
結(jie)果顯(xian)示(shi)同(tong)壹參數、不(bu)同(tong)Vg的(de)多(duo)條(tiao)曲線;同壹(yi)Vg、不(bu)同(tong)參數多(duo)條(tiao)曲線
顯(xian)示(shi)範(fan)圍實時(shi)自動(dong)、鎖(suo)定(ding)
坐標標尺對數、線(xian)性(xing)
掃描參數Vg、Vd
觸(chu)發(fa)方式手動(dong)觸發(fa)壹次(ci),從(cong)起點(dian)到(dao)終(zhong)點(dian)壹(yi)次(ci)掃描完(wan)成(cheng),下個觸(chu)發(fa)信號(hao)啟動(dong)新壹(yi)次(ci)掃描
結(jie)果保存(cun)圖形(xing)、文(wen)件(jian)
比(bi)較器
Bin分檔10Bin、PASS、FAIL
Bin偏(pian)差設(she)置偏差值(zhi)、百分偏差值(zhi)、關
Bin模(mo)式容差
Bin計(ji)數0-99999
檔(dang)判(pan)別(bie)每檔(dang)最多(duo)可(ke)設置(zhi)四個參數極限範圍,四個測試參數結(jie)果設檔(dang)範(fan)圍內顯(xian)示(shi)對(dui)應(ying)檔(dang)號(hao),超(chao)出設(she)定(ding)最大(da)檔號(hao)
範(fan)圍則(ze)顯(xian)示(shi)FAIL,未(wei)設(she)置(zhi)上(shang)下限的(de)測試參數自動(dong)忽(hu)略(lve)檔判(pan)別(bie)
PASS/FAIL指(zhi)示(shi)滿(man)足Bin1-10,前(qian)面板PASS燈(deng)亮,否則(ze)FAIL燈(deng)亮
存(cun)儲調用內(nei)部(bu)約100M非(fei)易失(shi)存(cun)儲器測試設(she)定(ding)文(wen)件(jian)
外(wai)置USB測試設(she)定(ding)文(wen)件(jian)、截屏圖形(xing)、記(ji)錄(lu)文(wen)件(jian)
鍵(jian)盤(pan)鎖(suo)定(ding)可(ke)鎖(suo)定(ding)前(qian)面板按(an)鍵(jian),其他功(gong)能待(dai)擴(kuo)充(chong)
接(jie)口(kou)
USB HOST 2個USB HOST接(jie)口(kou),可(ke)同時(shi)接(jie)鼠標、鍵(jian)盤(pan),U盤(pan)同時(shi)只能(neng)使(shi)用壹(yi)個
USB DEVICE通(tong)用串(chuan)行總(zong)線插(cha)座(zuo),小(xiao)型(xing)B類(4個接(jie)觸(chu)位置);與(yu)USB TMC-USB488和(he)USB2.0相符(fu)合(he),陰接(jie)頭用於(yu)連(lian)接(jie)外(wai)部控(kong)制器。
LAN 10/100M以太(tai)網,8引(yin)腳(jiao),兩(liang)種(zhong)速(su)度選擇(ze)
HANDLER用(yong)於(yu)Bin分檔信號輸(shu)出(chu)
RS232C標準(zhun)9針(zhen),交叉
RS485標準(zhun)差分線
GPIB 24針(zhen)D-Sub端口(D-24 類(lei)),陰接(jie)頭與(yu)IEEE488.1、2和(he)SCPI兼(jian)容
開機預(yu)熱(re)時間(jian)60分鐘
輸(shu)入電壓100-120VAC/198-242VAC可(ke)選擇(ze),47-63Hz
供電(dian)電(dian)源功(gong)率(lv)不(bu)小(xiao)於(yu)130VA
尺(chi)寸(WxHxD)mm 430x177x405
重(zhong)量16kg
隨(sui)機附(fu)件
電(dian)源線(xian)壹(yi)根(gen)
TH26063B 測試夾(jia)具 (僅(jin)TH511和(he)TH512)
TH26063C 測試夾(jia)具 (僅(jin)TH511和(he)TH512)
TH26063D 連(lian)接(jie)電(dian)纜 (僅TH511和TH512)
TH26063G 測試延(yan)長線(僅(jin)TH511和(he)TH512)
TH26071C USB轉RC232通(tong)訊線(xian)纜
TH513-1 測試夾(jia)具 (僅(jin)TH513)
簡(jian)要參數 | TH511 | TH512 | TH513 |
通(tong)道(dao) | 2(可(ke)擴展(zhan)至(zhi)6) | 2(可(ke)擴展(zhan)至(zhi)6) | 1 |
測試頻率(lv) | 1kHz-2MHz | ||
測試參數 | Ciss、Coss、Crss、Rg | ||
VGS範(fan)圍 | 0 - ±40V | ||
VDS範圍 | 0 - ±200V | 0 - ±1500V | 0 - ±3000V |
簡(jian)介(jie)
TH510系(xi)列(lie)半導(dao)體(ti)C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)是(shi)常(chang)州(zhou)同(tong)惠(hui)電(dian)子根據當(dang)前(qian)半(ban)導(dao)體(ti)功率(lv)器件發(fa)展(zhan)趨(qu)勢,針(zhen)對半(ban)導(dao)體(ti)材料(liao)及功率(lv)器件設計(ji)的(de)分析(xi)儀(yi)器。
儀(yi)器采(cai)用了壹(yi)體(ti)化(hua)集成設計,二極管、三極管、MOS管及IGBT等半(ban)導(dao)體(ti)功率(lv)器件寄生(sheng)電容、CV特(te)性(xing)可(ke)壹鍵(jian)測試,無(wu)需頻繁(fan)切(qie)換接(jie)線(xian)及設置(zhi)參數,單(dan)管功(gong)率(lv)器件及模組(zu)功率(lv)器件均可(ke)壹鍵(jian)快速(su)測試,適用於(yu)生(sheng)產(chan)線(xian)快速測試、自動(dong)化集成。
CV曲(qu)線掃描分析(xi)能力亦(yi)能滿(man)足實(shi)驗(yan)室對(dui)半(ban)導(dao)體(ti)材料(liao)及功率(lv)器件的(de)研(yan)發(fa)及分析(xi)(此功能(neng)為(wei)選件(jian))。
儀(yi)器設計頻率(lv)為(wei)1kHz-2MHz,Vgs電壓可(ke)達±40V,VDS電(dian)壓可(ke)達±200V/±1500V/±3000V,足(zu)以滿(man)足大(da)多數(shu)功率(lv)器件測試。
功(gong)能特(te)點
A.壹(yi)體化(hua)測試,集成度高(gao)、體積(ji)小(xiao)、效(xiao)率(lv)高(gao)
壹(yi)臺(tai)儀(yi)器內置了LCR數(shu)字(zi)電(dian)橋(qiao)、VGS電(dian)壓源、VDS電(dian)壓源、高(gao)低(di)壓切(qie)換矩陣以及上位(wei)機軟件,將復(fu)雜(za)的(de)接(jie)線(xian)、繁(fan)瑣(suo)的(de)操(cao)作集成在(zai)支(zhi)持電(dian)容式觸摸的(de)Linux系(xi)統(tong)內,操(cao)作更簡(jian)單(dan)。特(te)別(bie)適合(he)產線(xian)快(kuai)速(su)化、自動(dong)化測試。
B.單(dan)管器件測試,10.1寸(cun)大(da)屏,四種(zhong)寄(ji)生參數同(tong)屏顯(xian)示(shi),讓(rang)細節壹覽(lan)無(wu)遺
MOSFET或IGBT最重(zhong)要(yao)的(de)四個寄(ji)生參數:Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均(jun)可(ke)壹鍵(jian)測試,10.1寸(cun)大(da)屏可(ke)同時(shi)將測量結果、等效(xiao)電路(lu)圖、分選結(jie)果等重(zhong)要參數同(tong)時(shi)顯(xian)示(shi),壹(yi)目(mu)了然(ran)。
壹(yi)鍵(jian)測試單(dan)管器件器件時,無(wu)需頻繁(fan)切(qie)換測試腳(jiao)位、測量參數、測量結果,大(da)大(da)提(ti)高(gao)了測試效(xiao)率(lv)。

C.列(lie)表(biao)測試,多(duo)個、多(duo)芯、模(mo)組(zu)器件測量參數同(tong)屏顯(xian)示(shi)
TH510系(xi)列(lie)半導(dao)體(ti)C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)支(zhi)持最多(duo)6個單(dan)管器件、6芯器件或6模組(zu)器件測試,所有(you)測量參數通(tong)過(guo)列(lie)表(biao)掃描模(mo)式同時顯(xian)示(shi)測試結(jie)果及判(pan)斷結果。

D.曲(qu)線掃描功(gong)能(neng)(選件(jian))
在(zai)MOSFET的(de)參數中(zhong),CV特(te)性(xing)曲(qu)線(xian)也是壹(yi)個非(fei)常(chang)重(zhong)要(yao)的(de)指(zhi)標,如下圖
TH510系(xi)列(lie)半導(dao)體(ti)C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)支(zhi)持C-V特(te)性(xing)曲(qu)線(xian)分析(xi),可(ke)以以對(dui)數(shu)、線性(xing)兩(liang)種(zhong)方式實現(xian)曲線(xian)掃描,可(ke)同時(shi)顯(xian)示(shi)多(duo)條(tiao)曲線:同壹(yi)參數、不(bu)同(tong)Vg的(de)多(duo)條(tiao)曲線;同壹(yi)Vg、不(bu)同(tong)參數多(duo)條(tiao)曲線。
TH510系(xi)列(lie)同時(shi)支持多(duo)種(zhong)曲(qu)線掃描模(mo)型(xing)
曲(qu)線支(zhi)持散(san)點標記(ji)及粗細調節
Ciss-Rg曲(qu)線掃描

E.Cs-V功(gong)能,二極管結(jie)電容CV特(te)性(xing)測試分析(xi)
得益(yi)於(yu)TH510系(xi)列(lie)功率(lv)器件CV特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)內(nei)置了2路(lu)直(zhi)流(liu)電(dian)源,使(shi)二極管的(de)CV特(te)性(xing)分析(xi)成為(wei)可(ke)能,Cs-V功(gong)能可(ke)用於(yu)測試各種(zhong)二極管的(de)結(jie)電容,並(bing)可(ke)分析(xi)二極管的(de)CV特(te)性(xing)。

F.等效(xiao)模式轉換(huan)
TH510系(xi)列(lie)功率(lv)器件CV特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)測試結(jie)果的(de)電(dian)容C均為(wei)串聯(lian)模(mo)式Cs,對於(yu)部(bu)分需求(qiu)測試並(bing)聯(lian)模式Cp需求(qiu)的(de)客(ke)戶,可(ke)自行切(qie)換

G. 多(duo)種(zhong)獨(du)特(te)技術,解(jie)決(jue)自動(dong)化配(pei)套(tao)測試痛(tong)點(dian)
在(zai)配(pei)套(tao)自動(dong)化設(she)備(bei)或者產(chan)線時,經常(chang)會遇(yu)到(dao)下列(lie)問題,同惠(hui)針(zhen)對多(duo)種(zhong)情況(kuang)進(jin)行(xing)了優(you)化(hua)。
1)獨(du)特(te)技術解(jie)決(jue)Ciss、Coss、Crss、Rg產線/自動(dong)化系(xi)統(tong)高(gao)速測試精(jing)度(du)
同(tong)惠電(dian)子在(zai)電(dian)容測試行(xing)業近30年的(de)經驗(yan)積(ji)累,得以在(zai)產(chan)線、自動(dong)化測試等高(gao)速高(gao)精(jing)度(du)測試場(chang)合(he),都能保證(zheng)電容、電阻等測試精(jing)度(du)。
常(chang)規(gui)產線(xian)測試,提(ti)供標準(zhun)0米(mi)測試夾(jia)具,直(zhi)插(cha)器件可(ke)直(zhi)接(jie)插(cha)入進行測試,Ciss、Coss、Crss、Rg測試精(jing)度(du)高(gao)。 image.png
針(zhen)對自動(dong)化測試,由(you)於(yu)自動(dong)化設(she)備(bei)測試工(gong)裝(zhuang)通(tong)常(chang)需(xu)要(yao)較長連接(jie)線(xian),大(da)多自動(dong)化設(she)備(bei)生(sheng)產商(shang)在(zai)延(yan)長測試線(xian)時會帶來很(hen)大(da)的(de)精(jing)度(du)偏(pian)差,為(wei)此,同惠(hui)設(she)計(ji)了獨(du)特(te)的(de)2米(mi)延(yan)長線並(bing)內(nei)置了2米(mi)校(xiao)準(zhun),保證(zheng)Ciss、Coss、Crss、Rg測試精(jing)度(du)和(he)0米(mi)測試夾(jia)具壹(yi)致(zhi)。
2)接(jie)觸(chu)檢(jian)查(zha)(Contact)功能,提(ti)前(qian)排除自動(dong)化測試隱(yin)患
在(zai)高(gao)速測試特(te)別(bie)是自動(dong)化測試中(zhong),經常(chang)會由(you)於(yu)快(kuai)速(su)插(cha)拔(ba)或閉合(he),造成(cheng)測試治具或工(gong)裝(zhuang)表(biao)面磨損(sun)、引(yin)線(xian)斷裂而(er)接(jie)觸(chu)不(bu)良(liang),接(jie)觸(chu)不(bu)良(liang)的(de)造(zao)成的(de)最直(zhi)接(jie)後(hou)果是誤判(pan)測試結(jie)果而難以發(fa)現(xian),在(zai)廢品率(lv)突(tu)然(ran)增加(jia)或發(fa)出產(chan)品故障(zhang)原因(yin)退回(hui)時才會發(fa)現(xian),因(yin)此是壹(yi)個極大(da)的(de)隱(yin)患。
同(tong)惠TH510系(xi)列(lie)半導(dao)體(ti)C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)采(cai)用了獨(du)特(te)的(de)硬件測試方法(fa),采(cai)用了四端測量法(fa),每個腳(jiao)位均(jun)有(you)兩(liang)根線(xian)連接(jie),若(ruo)任(ren)意(yi)壹根線(xian)斷裂或者接(jie)觸(chu)點接(jie)觸(chu)不(bu)良(liang),均可(ke)及時發(fa)現(xian)並(bing)提(ti)供接(jie)觸(chu)不(bu)良(liang)點提(ti)示(shi),儀(yi)器自動(dong)停止(zhi)測試,等待(dai)進(jin)壹(yi)步處(chu)理。
保障(zhang)了結(jie)果的(de)準(zhun)確性(xing),同(tong)時(shi)利(li)於(yu)客(ke)戶(hu)及時發(fa)現(xian)問題,避免(mian)了不(bu)良(liang)品率(lv)提(ti)高(gao)及故障(zhang)品退回(hui)等帶來的(de)損(sun)失(shi)。

3)快(kuai)速通(tong)斷測試(OP_SH),排(pai)除損壞器件
在(zai)半(ban)導(dao)體(ti)器件特(te)性(xing)測試時(shi),由(you)於(yu)半(ban)器件本身(shen)是(shi)損(sun)壞(huai)件(jian),特(te)別(bie)是多(duo)芯器件其中(zhong)壹(yi)個芯已(yi)經損(sun)壞的(de)情況(kuang)下,測試雜(za)散(san)電容仍有(you)可(ke)能被(bei)判(pan)斷為(wei)合(he)格,而半(ban)導(dao)體(ti)器件的(de)導(dao)通(tong)特(te)性(xing)才是最重(zhong)要(yao)的(de)特(te)性(xing)。
因(yin)此,對於(yu)本(ben)身(shen)導(dao)通(tong)特(te)性(xing)不(bu)良(liang)的(de)產(chan)品進行C-V特(te)性(xing)測試是(shi)沒(mei)有(you)必(bi)要的(de),不(bu)僅(jin)僅(jin)浪(lang)費(fei)了測量時間(jian),同時會由(you)於(yu)C-V合(he)格而混(hun)雜(za)在(zai)良(liang)品裏,導(dao)致(zhi)成品出貨(huo)後(hou)被(bei)退回(hui)帶來損(sun)失(shi)。
TH510系(xi)列(lie)半導(dao)體(ti)C-V特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)提(ti)供了快(kuai)速(su)通(tong)斷測試(OP_SH)功(gong)能,可(ke)用於(yu)直(zhi)接(jie)判(pan)斷器件本身(shen)導(dao)通(tong)性(xing)能(neng)。
4)Crss+Plus功(gong)能,解(jie)決(jue)自動(dong)化測試系(xi)統(tong)高(gao)頻下Crss負值(zhi)問題
Crss電(dian)容通常(chang)在(zai)pF級,容量較小,測試是(shi)個難題。
而(er)在(zai)自動(dong)化測試系(xi)統(tong)中(zhong),由(you)於(yu)過(guo)多(duo)的(de)轉接(jie)開關(guan)、過(guo)長測測試引(yin)線(xian)等帶來的(de)寄(ji)生參數。
因(yin)此,測試Crss,特(te)別(bie)是在(zai)高(gao)頻測試時(shi)通常(chang)會出現(xian)負值(zhi),
同(tong)惠電(dian)子憑借在(zai)電(dian)容器測試行(xing)業30年的(de)技(ji)術及經驗(yan)積(ji)累,采(cai)用獨(du)特(te)的(de)算法(fa)的(de)Crss Plus模(mo)式,可(ke)保證(zheng)即(ji)使(shi)是在(zai)自動(dong)化測試系(xi)統(tong)中(zhong)、高(gao)頻下也能測的(de)正(zheng)確的(de)結(jie)果。
5)漏源高(gao)壓擊穿(chuan)保護技(ji)術,防(fang)止損壞(huai)測試儀(yi)器
在(zai)測試功(gong)率(lv)器件電容時,漏極D通常(chang)會加(jia)上(shang)高(gao)壓,特(te)別(bie)是第(di)三代(dai)功率(lv)半導(dao)體(ti)器件,電壓甚至可(ke)高(gao)達1000V-3000V,當(dang)漏源瞬(shun)間(jian)擊穿(chuan)時,常(chang)會導(dao)致(zhi)電容器瞬(shun)間(jian)短路(lu)放(fang)電,在(zai)漏源電(dian)壓1500V時,放(fang)電電(dian)流(liu)可(ke)高(gao)達780A,如(ru)此大(da)的(de)瞬(shun)間(jian)電流(liu),會反(fan)沖(chong)至(zhi)儀(yi)器內部電(dian)路(lu),並(bing)導(dao)致(zhi)損壞。
同(tong)惠高(gao)壓擊穿(chuan)保護技(ji)術,解(jie)決(jue)了此隱患,避免(mian)經常(chang)由(you)於(yu)高(gao)壓沖擊損壞儀(yi)器,降低(di)了維(wei)修(xiu)成(cheng)本的(de)同(tong)時提(ti)高(gao)了自動(dong)化測試的(de)效(xiao)率(lv)。
6)Interlock互鎖(suo)功能(neng),確保高(gao)壓下操(cao)作環境(jing)安(an)全(quan)(僅(jin)TH513)
在(zai)測試功(gong)率(lv)器件需施(shi)加(jia)高(gao)壓,因(yin)此對於(yu)操(cao)作者及其他設(she)備(bei)的(de)安(an)全(quan)隔離(li)非(fei)常(chang)重(zhong)要(yao),特(te)別(bie)是在(zai)自動(dong)化產(chan)線,通常(chang)會將高(gao)壓設備(bei)放(fang)置在(zai)壹(yi)個隔離(li)的(de)環(huan)境(jing),並(bing)通(tong)過安(an)全(quan)門開啟關(guan)閉(bi)來保證(zheng)操(cao)作者的(de)安(an)全(quan)。
TH510系(xi)列(lie)功率(lv)器件CV特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)配(pei)置(zhi)了Interlock接(jie)口(kou),可(ke)與(yu)安(an)全(quan)門開關(guan)連(lian)接(jie),在(zai)安(an)全(quan)門開啟時(shi)切(qie)斷高(gao)壓輸(shu)出(chu)並(bing)禁(jin)止儀(yi)器啟動(dong),只有(you)關(guan)閉(bi)後(hou)才能正(zheng)常(chang)工(gong)作。確保了操(cao)作者和(he)設備(bei)的(de)安(an)全(quan)。
7)模(mo)組(zu)式器件設置(zhi),支持定(ding)制
針(zhen)對模(mo)組(zu)式器件如雙(shuang)路(lu)(Dual)MOSFET、多組(zu)式IGBT,有(you)些(xie)器件會有(you)不(bu)同(tong)類(lei)型(xing)芯片(pian)混(hun)合(he)式封裝,TH510系列(lie)CV特(te)性(xing)分析(xi)儀(yi)針(zhen)對此情況(kuang)做了優(you)化(hua),常(chang)見(jian)模組(zu)式芯片(pian)Demo已(yi)內置(zhi),特(te)殊(shu)芯片(pian)支(zhi)持定(ding)制。

8)10檔(dang)分選及可(ke)編(bian)程HANDLER接(jie)口(kou)
儀(yi)器提(ti)供了10檔(dang)分選,為(wei)客戶(hu)產(chan)品質量分級提(ti)供了可(ke)能,分選結(jie)果直(zhi)接(jie)輸(shu)出(chu)至(zhi)HANDLER接(jie)口(kou)
在(zai)與(yu)自動(dong)化設(she)備(bei)連(lian)接(jie)時(shi),怎麽(me)配(pei)置(zhi)HANDLER接(jie)口(kou)輸(shu)出(chu),壹(yi)直(zhi)是(shi)自動(dong)化客(ke)戶的(de)難題,TH510系列(lie)LCR將HANDLER接(jie)口(kou)腳位、輸(shu)入輸(shu)出(chu)方式、對應(ying)信(xin)號(hao)、應(ying)答(da)方式等可(ke)視化(hua),讓(rang)自動(dong)化連(lian)接(jie)更(geng)簡單。
TH512國(guo)產半(ban)導(dao)體(ti)參數分析(xi)儀(yi)規(gui)格參數指(zhi)標
產品型號 | TH511 | TH512 | TH513 | |
通道(dao)數 | 2(可(ke)選配(pei)4/6通(tong)道(dao)) | 1 | ||
顯(xian)示(shi) | 顯(xian)示(shi)器 | 10.1英(ying)寸(cun)(對(dui)角線(xian))電(dian)容觸摸屏 | ||
比例(li) | 16:9 | |||
分辨率(lv) | 1280×RGB×800 | |||
測量參數 | CISS、COSS、CRSS、Rg,四參數任(ren)意(yi)選擇(ze) | |||
測試頻率(lv) | 範圍 | 1kHz-2MHz | ||
精(jing)度(du) | 0.01% | |||
分辨率(lv) | 10mHz | 1.00000kHz-9.99999kHz | ||
100mHz | 10.0000kHz-99.9999kHz | |||
1Hz | 100.000kHz-999.999kHz | |||
10Hz | 1.00000MHz-2.00000MHz | |||
測試電(dian)平 | 電壓範圍 | 5mVrms-2Vrms | ||
準(zhun)確度 | ±(10%×設(she)定(ding)值(zhi)+2mV) | |||
分辨率(lv) | 1mVrms | 0.5Vrms-1Vrms | ||
10mVrms | 1Vrms-2Vrms | |||
VGS電壓 | 範圍 | 0 - ±40V | ||
準(zhun)確度 | 1%×設(she)定(ding)電(dian)壓+8mV | |||
分辨率(lv) | 1mV | 0V - ±10V | ||
10mV | ±10V - ±40V | |||
VDS電壓 | 範圍 | 0 - ±200V | 0 - ±1500V | 0 - ±3000V |
準(zhun)確度 | 1%×設(she)定(ding)電(dian)壓+100mV | |||
輸(shu)出(chu)阻抗 | 100Ω,±2%@1kHz | |||
數學(xue)運(yun)算 | 與(yu)標稱值的(de)絕(jue)對偏(pian)差Δ,與(yu)標稱值的(de)百分比偏差Δ% | |||
校(xiao)準(zhun)功能 | 開路(lu)OPEN、短路(lu)SHORT、負載(zai)LOAD、夾(jia)具校(xiao)準(zhun) | |||
測量平均(jun) | 1-255次(ci) | |||
AD轉換(huan)時間(jian)(ms/次(ci)) | 快(kuai)速+:2.5ms(>5kHz) 快(kuai)速(su):11ms, 中(zhong)速(su):90ms 慢速(su):220ms | |||
最高(gao)準(zhun)確度 | 0.5%(具體(ti)參考說明書) | |||
CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF - 9.99999F | |||
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | |||
Δ% | ±(0.000% - 999.9%) | |||
多(duo)功(gong)能參數列(lie)表(biao)掃描 | 點(dian)數(shu) | 50點,每個點(dian)可(ke)設置(zhi)平均(jun)數,每個點(dian)可(ke)單獨(du)分選 | ||
參數 | 測試頻率(lv)、Vg、Vd、通道 | |||
觸發(fa)模式 | 順(shun)序SEQ:當(dang)壹(yi)次(ci)觸(chu)發(fa)後,在(zai)所有(you)掃描點(dian)測量,/EOM/INDEX只輸(shu)出(chu)壹(yi)次(ci) | |||
步進STEP:每次(ci)觸(chu)發(fa)執行(xing)壹(yi)個掃描點(dian)測量,每點(dian)均(jun)輸(shu)出(chu)/EOM/INDEX,但列(lie)表(biao)掃描比(bi)較器結果只在(zai)最後(hou)的(de)/EOM才輸(shu)出(chu) | ||||
圖形(xing)掃描 | 掃描點(dian)數(shu) | 任意(yi)點可(ke)選,最多(duo)1001點(dian) | ||
結果顯(xian)示(shi) | 同(tong)壹參數、不(bu)同(tong)Vg的(de)多(duo)條(tiao)曲線;同壹(yi)Vg、不(bu)同(tong)參數多(duo)條(tiao)曲線 | |||
顯(xian)示(shi)範(fan)圍 | 實時(shi)自動(dong)、鎖(suo)定(ding) | |||
坐標標尺 | 對數、線(xian)性(xing) | |||
掃描參數 | Vg、Vd、Freq | |||
觸(chu)發(fa)方式 | 手動(dong)觸發(fa)壹次(ci),從(cong)起點(dian)到(dao)終(zhong)點(dian)壹(yi)次(ci)掃描完(wan)成(cheng),下個觸(chu)發(fa)信號(hao)啟動(dong)新壹(yi)次(ci)掃描 | |||
結(jie)果保存(cun) | 圖形(xing)、文(wen)件(jian) | |||
比(bi)較器 | Bin分檔 | 10Bin、PASS、FAIL | ||
Bin偏差設(she)置 | 偏差值(zhi)、百分偏差值(zhi)、關 | |||
Bin模式 | 容差 | |||
Bin計(ji)數 | 0-99999 | |||
檔判(pan)別(bie) | 每檔(dang)最多(duo)可(ke)設置(zhi)四個參數極限範圍,四個測試參數結(jie)果設檔(dang)範(fan)圍內顯(xian)示(shi)對(dui)應(ying)檔(dang)號(hao),超(chao)出設(she)定(ding)最大(da)檔號(hao)範圍則(ze)顯(xian)示(shi)FAIL,未(wei)設(she)置(zhi)上(shang)下限的(de)測試參數自動(dong)忽(hu)略(lve)檔判(pan)別(bie) | |||
PASS/FAIL指示(shi) | 滿(man)足Bin1-10,前(qian)面板PASS燈(deng)亮,否則(ze)FAIL燈(deng)亮 | |||
存(cun)儲調用 | 內(nei)部(bu) | 約100M非(fei)易失(shi)存(cun)儲器測試設(she)定(ding)文(wen)件(jian) | ||
外(wai)置USB | 測試設(she)定(ding)文(wen)件(jian)、截屏圖形(xing)、記(ji)錄(lu)文(wen)件(jian) | |||
鍵(jian)盤(pan)鎖(suo)定(ding) | 可(ke)鎖(suo)定(ding)前(qian)面板按(an)鍵(jian),其他功(gong)能待(dai)擴(kuo)充(chong) | |||
接(jie)口(kou) | USB HOST | 2個USB HOST接(jie)口(kou),可(ke)同時(shi)接(jie)鼠標、鍵(jian)盤(pan),U盤(pan)同時(shi)只能(neng)使(shi)用壹(yi)個 | ||
USB DEVICE | 通(tong)用串(chuan)行總(zong)線插(cha)座(zuo),小(xiao)型(xing)B類(4個接(jie)觸(chu)位置);與(yu)USB TMC-USB488和(he)USB2.0相符(fu)合(he),陰接(jie)頭用於(yu)連(lian)接(jie)外(wai)部控(kong)制器。 | |||
LAN | 10/100M以太(tai)網,8引(yin)腳(jiao),兩(liang)種(zhong)速(su)度選擇(ze) | |||
HANDLER | 用於(yu)Bin分檔信號輸(shu)出(chu) | |||
RS232C | 標準(zhun)9針(zhen),交叉 | |||
RS485 | 標準(zhun)差分線 | |||
GPIB | 24針(zhen)D-Sub端口(D-24 類(lei)),陰接(jie)頭與(yu)IEEE488.1、2和(he)SCPI兼(jian)容 | |||
開機預(yu)熱(re)時間(jian) | 60分鐘 | |||
輸(shu)入電壓 | 100-120VAC/198-242VAC可(ke)選擇(ze),47-63Hz | |||
功耗(hao) | 不(bu)小(xiao)於(yu)130VA | |||
尺(chi)寸(cun)(WxHxD)mm | 430x177x405 | |||
重(zhong)量 | 16kg | |||
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