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基礎(chu)信息Product information
產(chan)品名(ming)稱：S3022F兩(liang)通道源表(biao)雙通道精密(mi)源(yuan)表(biao)
產(chan)品型(xing)號(hao)：
更新(xin)時間：2025-11-14
產(chan)品簡(jian)介(jie)：
S3022F兩通道源表(biao)雙通道精密(mi)源(yuan)表(biao)，2通道，電壓(ya)範圍(wei)±100nV到±200V，電流範圍(wei)100fA到±3A，其(qi)中(zhong)脈(mai)沖可以到±10A，最大輸出(chu)功(gong)率(lv)30W，最(zui)大(da)采樣(yang)率(lv)1MS/s
產(chan)品特性(xing)Product characteristics
“精"——上(shang)海市先JIN企(qi)業(ye)!
“專(zhuan)"——專註工(gong)業(ye)測試(shi)十六年!
“特"——德(de)國(guo)萊茵(yin)TUV認(ren)證(zheng)供(gong)應(ying)商!
“新(xin)"——註冊(ce)資(zi)本(ben)實繳(jiao)壹(yi)仟(qian)萬元!實繳(jiao)資(zi)金行(xing)業(ye)中居前茅(mao)!抗金融風(feng)險(xian)能力(li)強!
S3022F兩(liang)通道源表(biao)雙通道精密(mi)源(yuan)表(biao)，2通道，電壓(ya)範圍(wei)±100nV到±200V，電流範圍(wei)100fA到±3A，其(qi)中(zhong)脈(mai)沖可以到±10A，最大輸出(chu)功(gong)率(lv)30W，最(zui)大(da)采樣(yang)率(lv)1MS/s
雙通道兩通道2通道源表(biao)S3022F是結(jie)構緊(jin)湊、經(jing)濟(ji)高(gao)效的臺式精密(mi)源(yuan)表(biao)(SMU)，能夠(gou)同時輸出(chu)並測量(liang)電(dian)壓(ya)和電(dian)流，提供(gong)更高的(de)輸出(chu)能力(li)和更高的(de)精度(du)，支持多機同步(bu)測試(shi)。為用戶提供(gong)±200V、±3A（直(zhi)流）、±10A（脈(mai)沖）、最大30W功(gong)率(lv)輸出(chu)，最大(da)采樣(yang)率(lv) 1MS/s，最(zui)小(xiao)測量(liang)分(fen)辨(bian)率(lv)100fA/100nV。
1 產(chan)品描述(shu)
S3022F 精密(mi)電(dian)源(yuan)/測量(liang)單(dan)元是結(jie)構緊(jin)湊、經(jing)濟(ji)高(gao)效的臺式電源(yuan)/測量(liang)單(dan)元(SMU)，能夠(gou)同時輸出(chu)並測量(liang)電(dian)壓(ya)和電(dian)流。這(zhe)些功(gong)能使(shi)得S3022F成為既需(xu)要(yao)高分(fen)辨率(lv)，又(you)需(xu)要(yao)高精度(du)的(de)各(ge)種(zhong) IV(電(dian)流與電(dian)壓)測量(liang)任(ren)務的理想(xiang)選擇(ze)。S3022F 以(yi)適(shi)中的價格提供(gong)優異的性(xing)能。它(ta)擁有寬泛的電(dian)壓源(yuan)(±200V)和(he)電(dian)流源(±3A 直(zhi)流和±10A 脈(mai)沖)功(gong)能，出(chu)色的(de)精度(du)，6位(wei)半(ban)的(de)顯(xian)示(100fA/100nV顯(xian)示分辨(bian)率(lv))以(yi)及(ji)彩(cai)色LCD圖(tu)形用戶界(jie)面(GUI)。
2 產(chan)品特點(dian)和優勢
量(liang)程
大(da)電壓(ya)大電流量(liang)程：±200V、±3A(直(zhi)流)、±10A(脈(mai)沖)，單(dan)臺(tai) SMU 產(chan)品即(ji)可(ke)同時滿(man)足高(gao)電(dian)壓和大(da)電流測量(liang)需(xu)求， 從(cong)而推(tui)動(dong)測量(liang)儀(yi)器(qi)的標準化(hua)，並簡(jian)化(hua)資(zi)產(chan)管理(li)和支持工(gong)作(zuo)。
最(zui)小測量(liang)分(fen)辨(bian)率(lv)
最(zui)小測量(liang)分(fen)辨(bian)率(lv)可(ke)達(da)100fA/100nV，可以使(shi)用低(di)成(cheng)本的(de)臺(tai)式 SMU 進(jin)行(xing)低(di)電(dian)平測量(liang)，而以(yi)前則(ze)需(xu)要(yao)使(shi)用昂(ang)貴的半(ban)導體器(qi)件分析儀。
高(gao)速測量(liang)
最(zui)高可(ke)支持1MS/s的(de)ADC采樣(yang)率(lv)，NPLC和(he)采樣(yang)率(lv)可(ke)選。
傳感(gan)模(mo)式(shi)
支持2線(xian)或(huo)4線(xian)（遠(yuan)程傳感(gan)）連(lian)接(jie)；最(zui)大(da)傳感(gan)引線電(dian)阻(zu)：1 kΩ（額定精度(du)）；遠(yuan)程傳感(gan)輸出(chu)端與傳感(gan)端最大電(dian)壓(ya)：2V
SWEEP模(mo)式
支持單(dan)邊和雙邊的線(xian)性(xing)，對數，列(lie)表掃描。間隔從(cong)1μs至16s可(ke)配置(zhi)，單(dan)次(ci)掃描最(zui)大(da)64K點(dian)
雙邊對數掃描
自(zi)動(dong)量(liang)程
支持單(dan)點(dian)，掃描自(zi)動(dong)量(liang)程。過(guo)沖敏感(gan)設備建議切(qie)換量(liang)程前(qian)關(guan)閉輸出(chu)再做(zuo)量(liang)程切(qie)換動(dong)作(zuo)。
延(yan)時測量(liang)
支持延(yan)時測量(liang)，建議用(yong)戶設置合適(shi)的SOURCE DELAY以(yi)獲(huo)得更準確(que)的測量(liang)值(zhi)。
Source Delay 設置示意圖(tu)
註意：Source delay 必(bi)須(xu)大於(yu)源(yuan)建立(li)的時間，當采樣(yang)值不準，需要(yao)考(kao)電(dian)Source delay是(shi)否(fou)合理，特別(bie)是(shi)小電(dian)流最程。
保護
支持過(guo)溫保護，當檢(jian)測到內部(bu)溫度過(guo)高(gao)時，輸出(chu)關閉(bi)，待(dai)溫(wen)度(du)回(hui)到65度以下會(hui)恢(hui)復操作(zuo)使(shi)用；
當輸出(chu)超出(chu) OVP 設定值時關(guan)閉輸出(chu)，設備重置後(hou)可(ke)進壹(yi)步(bu)操作(zuo)，精度(du)：± (1%Setting+500mV)
支持傳統(tong)和默認(ren)的(de) SCPI 命令
支持傳統(tong)的 SCPI 命令，並可以(yi)部(bu)分兼容(rong)較(jiao)舊(jiu)的(de) SMU 代(dai)碼(ma)(例如 Keithley 2400系(xi)列(lie))，從(cong)而盡量(liang)減(jian)少(shao)代(dai)碼轉換工(gong)作(zuo)。
5.0 英(ying)寸彩(cai)色LCD電(dian)容觸摸(mo)屏(ping)
采用(yong)5.0英寸彩(cai)色LCD電(dian)容觸摸(mo)屏(ping)，提供(gong)了(le)簡(jian)單(dan)易(yi)用的(de)前面板GUI，可(ke)快速輕松(song)地在前(qian)面板上(shang)進行(xing)測量(liang)和(he)顯(xian)示數據，顯(xian)著(zhu)加速交互(hu)式(shi)測試(shi)、表征和(he)調試操作(zuo)。
軟(ruan)件功(gong)能
GUI非(fei)常直(zhi)觀和(he)簡(jian)潔(jie)，無需編(bian)程即(ji)可(ke)從(cong) PC 進行(xing)遠(yuan)程測量(liang)和(he)控(kong)制。
電(dian)源
電(dian)壓範圍(wei)：100-240VAC，頻(pin)率(lv)範圍(wei)：50/60Hz，
最(zui)大功(gong)率(lv)：250W ，保險(xian)絲(si)規(gui)格：T3.15AH 250 VAC
預(yu)熱 1 小(xiao)時
尺(chi)寸（mm） 429*441*112(含(han)腳墊(dian)、把手(shou)及(ji)旋鈕)
重量(liang) 凈(jing)重 8 kg
標準出(chu)廠(chang)附(fu)件：電源線，USB線(xian)，網(wang)線，紅(hong)色測試(shi)線，黑色測試(shi)線，U盤（包括(kuo)PDF手(shou)冊(ce)、快(kuai)速測量(liang)軟(ruan)件和驅(qu)動(dong)程序(xu)）。
產(chan)品型(xing)號(hao)
S3022F 雙通道精密(mi)型(xing)電(dian)源/測量(liang)單(dan)元，脈(mai)沖源
可(ke)選附(fu)件
TA-01000
S3022F 輸出(chu)擴展(zhan)連(lian)接裝置 ，250V,1A,4W,Triaxial
耗材(cai)/配件
TA-03001 三(san)同軸輸出(chu)線，公對公，0.6米，250V，1A
TA-03002 三(san)同軸輸出(chu)線，公對公，1.5米，250V，1A
TA-03003 三(san)同軸輸出(chu)線，公對公，4米，250V，1A
雙通道源表(biao)S3022F
臺(tai)式200V雙通道精密(mi)源(yuan)表(biao)
S3022F 雙通道精密(mi)電(dian)源(yuan)/測量(liang)單(dan)元 是結(jie)構緊(jin)湊、經(jing)濟(ji)高(gao)效的雙通道臺式(shi)電源(yuan)/測量(liang)單(dan)元(SMU)，能夠(gou)同時輸出(chu)並測量(liang)電(dian)壓(ya)和電(dian)流，提供(gong)更高的(de)輸出(chu)能力(li)和更高的(de)精度(du)，豐(feng)富的液晶屏(ping)操作(zuo)界(jie)面極(ji)大(da)的提高測試(shi)效率(lv)。
特點(dian)
高(gao)量(liang)程
量(liang)程：±200 V、±3 A（直(zhi)流）、±10A（脈(mai)沖）
高(gao)分辨(bian)率(lv)
最(zui)小測量(liang)分(fen)辨(bian)率(lv)可(ke)達(da)100 fA/100 nV
高(gao)采樣(yang)率(lv)
最(zui)高可(ke)支持1M的(de)ADC采樣(yang)率(lv)
閾(yu)值觸發(fa)
硬(ying)件高速IO，可實現閾值觸發(fa)，實現輸出(chu)測量(liang)值(zhi)和(he)用戶系(xi)統(tong)的高(gao)效交互(hu)
功(gong)能與優勢
集(ji)成五(wu)大功(gong)能於(yu)壹(yi)身(shen)
電(dian)壓源(yuan)
電(dian)流源
電(dian)流表
電(dian)壓表(biao)
電(dian)子(zi)負載
壹(yi)、三(san)象(xiang)限(xian)為(wei)源(yuan)：輸出(chu)V/I的實際極(ji)性(xing)跟隨源(yuan)設定；
二、四象(xiang)限(xian)為(wei)負(fu)載：CC和CV配(pei)合，當負載用時，負(fu)載設定極(ji)性(xing)與源(yuan)極(ji)性(xing)相(xiang)反；
可(ke)測試(shi)各(ge)種(zhong)設備
捕(bu)獲(huo)更多的(de)測量(liang)數據
♦ 6 位(wei)半(ban)的(de)數字分(fen)辨率(lv): 精度(du)相(xiang)當於(yu)6 位(wei)半(ban)數字萬用(yong)表(biao)；
♦ 100 fA / 100 nV分(fen)辨率(lv): 設置與測量(liang)靈(ling)敏度；
♦ 1M點(dian)/秒: 提供(gong)高(gao)速測量(liang)，可(ke)以(yi)快速設置/數字化(hua)率(lv)於(yu)任(ren)意波(bo)形發(fa)生器(qi)/列(lie)表掃描；
豐(feng)富的掃描功(gong)能
S3022F兩(liang)通道源表(biao)雙通道精密(mi)源(yuan)表(biao)
電(dian)壓源(yuan)指標
電(dian)壓設置精度(du)
量(liang)程設置分辨(bian)率(lv)精度(du)(1 年)±(%讀(du)數+ 偏置(zhi))典型噪聲(sheng)(有效值(zhi))0.1 Hz-10 Hz
±200 V1 mV0.02%+30 mV1.5 mV
±20 V100 μV0.02%+2 mV160 μV
±6 V50 μV0.02%+500 μV36 μV
±200 mV1 μV0.02%+120 μV4 μV
溫(wen)度系(xi)數±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單(dan)通道最大(da)輸出(chu)功(gong)率(lv)30W: ±[email protected];30W: ±200 [email protected];18W: ±6 V@3A
設置時間<800μs(典型值)
過(guo)沖<±0.1% (典型值，Normal,步(bu)進是範圍(wei)的 10% 至(zhi) 90%，滿(man)量(liang)程點(dian)，電阻(zu)性(xing)負(fu)載測試(shi))
噪(zao)聲 10Hz-20MHz6V 電(dian)壓源(yuan)，3A 電阻(zu)負(fu)載，<3 mVrms
[1]精度(du)計(ji)算示例：測試(shi)200mV量(liang)程120mV輸出(chu)的精度(du)，則(ze)允(yun)差為(wei)：
[2]本(ben)儀表(biao)有潛(qian)在的危險(xian)高(gao)壓(±210 V)輸出(chu)到HI /Sense HI/Guard端子(zi)，為防止電(dian)擊，在開(kai)機前必(bi)須(xu)做(zuo)好(hao)相(xiang)關(guan)的安(an)全(quan)防範措(cuo)施。請勿將(jiang)Guard端子(zi)接到任(ren)何(he)輸出(chu)，包括(kuo)短(duan)接到機箱(xiang)地或(huo)是(shi)輸出(chu)LO，否則(ze)會(hui)損壞儀(yi)表(biao)
電(dian)流源指(zhi)標
電(dian)流設置精度(du)
量(liang)程設置分辨(bian)率(lv)精度(du)(1 年)±(% 讀(du)數+偏置(zhi))典型噪聲(sheng)(有效值(zhi))0.1 Hz-10 Hz
±10 A150 μA0.4% + 40 mANA
±3 A15 μA0.05% + 2 mA40 μA
±1.5 A10 μA0.02% + 500 μA20 μA
±150 mA1 μA0.02% + 25 μA5 μA
±15 mA100 nA0.02% + 6 μA700 nA
±1.5 mA10 nA0.02% + 250 nA16 nA
±150 μA1 nA0.02% + 25 nA21 nA
±15 μA100 pA0.02% + 3 nA140 pA
±1.5 μA10 pA0.03% + 450 pA25 pA
±150 nA1 pA0.05%+250 pA5 pA
溫(wen)度系(xi)數±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單(dan)通道最大(da)輸出(chu)功(gong)率(lv)30W: ±[email protected];30W: ±200 [email protected];18W: ±6 V@3A
設置時間<500 μs(典型值)
過(guo)沖<±0.1% (典型值，Normal,步(bu)進是範圍(wei)的 10% 至(zhi) 90%，滿(man)量(liang)程點(dian)，電阻(zu)性(xing)負(fu)載測試(shi))
1、10A 量(liang)程僅(jin)支持脈(mai)沖模式, 精度(du)為(wei)典型值
電(dian)壓表(biao)指標
電(dian)壓測量(liang)精度(du)
量(liang)程顯(xian)示分辨(bian)率(lv)精度(du)(1 年) ±(% 讀(du)數+偏置(zhi))
±200 V100 μV0.02% + 30 mV
±20 V10 μV0.02% + 2 mV
±6 V1 μV0.02% + 500 μV
±200 mV100 nV0.02% + 120 μV
溫(wen)度系(xi)數±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
電(dian)流表指(zhi)標
電(dian)流測量(liang)精度(du)
量(liang)程顯(xian)示分辨(bian)率(lv)精度(du)(1 年) ±(% 讀(du)數+偏置(zhi))
±10 A110 μA0.4% + 25 mA
±3 A10 μA0.05% + 2 mA
±1.5 A1 μA0.02% + 500 μA
±150 mA100 nA0.02% + 25 μA
±15 mA10 nA0.02% + 6 μA
±1.5 mA1 nA0.02% + 250 nA
±150 μA100 pA0.02% + 25 nA
±15 μA10 pA0.02% + 3 nA
±1.5 μA21 pA0.03% + 450 pA
±150 nA2100 fA0.05% + 250 pA
溫(wen)度系(xi)數±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
1、10A量(liang)程僅(jin)支持脈(mai)沖模式,精度(du)為(wei)典型值
2、小(xiao)電流測量(liang)，建議使(shi)用三(san)同軸線纜連(lian)接(jie)：ForceHi接芯線(xian)，Guard接(jie)內屏(ping)蔽層，外屏(ping)蔽層接(jie)保護地，ForceLo接芯線(xian)，內屏(ping)蔽層不接，外屏(ping)蔽層接(jie)保護地，同軸線的(de)額定絕緣(yuan)電壓不小於(yu)250V。
電(dian)阻(zu)表(biao)指(zhi)標（4 線）
電(dian)阻(zu)測量(liang)精度(du)
量(liang)程顯(xian)示分辨(bian)率(lv)默認(ren)測量(liang)電(dian)流典型精度(du)(1 年)
±(% 讀(du)數+偏置(zhi))
1 Ω1 μΩ1.5 A0.073% +0.3334 mΩ
10 Ω10 μΩ150 mA0.057% + 3.334 mΩ
100 Ω100 μΩ15 mA0.08% + 33.34 mΩ
1 kΩ1 mΩ1.5 mA0.057% + 333. 4 mΩ
10 kΩ10 mΩ150 μA0.057% + 3.334 Ω
100 kΩ100 mΩ15 μA0.06% + 33.34 Ω
1 MΩ1 Ω1.5 μA0.06% + 333.4 Ω
10 MΩ10 Ω0.15 μA0.35% + 3.334 kΩ
100 MΩ100 Ω0.05 μA0.95% + 10 kΩ
溫(wen)度系(xi)數±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手(shou)動(dong)電(dian)流源電(dian)阻(zu)測量(liang)（四線(xian)）總(zong)體誤差=測量(liang)電(dian)壓(ya)/電流源設定電流=電阻(zu)讀(du)數x(電壓(ya)源量(liang)程的(de)增(zeng)益誤差百(bai)分比(bi)+電流表量(liang)程的(de)增(zeng)益誤差百(bai)分比(bi)+電流源量(liang)程偏(pian)置(zhi)誤差/設定電流)+(電壓(ya)源(yuan)量(liang)程偏(pian)置(zhi)誤差/設定電流值) 示例：電流源設定電流=1.5A 電壓(ya)測量(liang)量(liang)程=6V 總(zong)體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ
脈(mai)沖源指標（4線）
最(zui)小可(ke)編程脈(mai)寬(kuan)100 μs
脈(mai)寬(kuan)編(bian)程分(fen)辨(bian)率(lv)1 μs
脈(mai)寬(kuan)編(bian)程精度(du)±10 μs
脈(mai)寬(kuan)抖動(dong)2 μs
脈(mai)沖寬度定義如下(xia)圖(tu)所示，從(cong) 10 % 前沿(yan)到 90 % 後沿的時間
脈(mai)沖技(ji)術(shu)指(zhi)標最(zui)大電(dian)流限(xian)制最(zui)大脈(mai)沖寬度最(zui)大占空比(bi)
10.15 A/200 VDC,無限(xian)制100%
21.5 A/20 VDC,無限(xian)制100%
33 A/6 VDC,無限(xian)制100%
43 A/20 V1 ms10%
510 A/6 V1 ms10%
脈(mai)沖源上(shang)升時間（4 線）
輸出(chu)量(liang)程典型上(shang)升時間 1,3典型穩定時間 2,3測試(shi)負載
電(dian)壓源(yuan)
200 V600 μs1.5 ms空載
20 V200 μs360 μs空載
6 V160 μs300 μs空載
電(dian)流源
10 A140 μs320 μs滿(man)載
3 A120 μs280 μs滿(man)載
1.5 A120 μs280 μs滿(man)載
150 mA120 μs280 μs滿(man)載
15 mA120 μS280 μs滿(man)載
1.5 mA120 μS280 μs滿(man)載
1, 脈(mai)沖前沿從(cong) 10%到 90% 所需(xu)的時間。
2, 脈(mai)沖達到距離(li)最終(zhong)值 1%的(de)所需(xu)的時間。
3, 電(dian)流源測試(shi)基於(yu) 6V 電(dian)壓(ya)量(liang)程下(xia)測試(shi)，105%滿(man)量(liang)程鉗位(wei)設定。
I-V 輸出(chu)能力(li)
輸出(chu)建立(li)時間
輸出(chu)
量(liang)程
典型輸出(chu)建立(li)時間
測試(shi)條(tiao)件
Fast 1,2Normal 1Slow1
電(dian)壓源(yuan)
200 V<1.3 ms<1.5 ms<2.5 ms
在(zai)開(kai)路(lu)負(fu)載條(tiao)件下，達到距離(li)最終(zhong)值 0.1% 以(yi)內所需(xu)的時間。
步(bu)進是範圍(wei) 10% 至90%。
20 V<300 μs<360 μs<1 ms
6 V<150 μs<250 μs<1 ms
200 mV<200 μs<250 μs<1 ms
電(dian)流源
3 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
滿(man)載條(tiao)件下，達到距離(li)最終(zhong)值0.1%以(yi)內(對於(yu)3A範圍(wei)，為0.3%)所需(xu)的時間。
步(bu)進是範圍(wei)的10%至(zhi)90%。6V電(dian)壓(ya)量(liang)程，105%滿(man)量(liang)程鉗位(wei)設定。
1.5 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
15 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
1.5 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 μA<250 μs<300 μs<1.2 ms
15 μA<250 μs<1.2 ms<2 ms
1.5 μA<600 μs<1.2 ms<5 ms
150 nA<600 μs<5 ms<12 ms
1、輸出(chu)轉換速率(lv)：Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模(mo)式在(zai)不同的(de)量(liang)程或(huo)負(fu)載條(tiao)件下輸出(chu)可能會(hui)出(chu)現較(jiao)大(da)過(guo)沖，過沖敏感(gan)設備建議用(yong) Slow 模(mo)式。
采樣(yang)率(lv)及(ji) NPLC 設置
配(pei)置方(fang)式配(pei)置範圍(wei)
NPLC0.00005 PLC ~ 10 PLC
Sampling Rate5 sps ~ 1 Msps
電(dian)壓源(yuan)指標
電(dian)壓設置精度(du) | 量(liang)程 | 設置分辨(bian)率(lv) | 精度(du)(1 年)±(%讀(du)數+ 偏置(zhi)) | 典型噪聲(sheng)(有效值(zhi))0.1 Hz-10 Hz |
±200 V | 1 mV | 0.02%+30 mV | 1.5 mV | |
±20 V | 100 μV | 0.02%+2 mV | 160 μV | |
±6 V | 50 μV | 0.02%+500 μV | 36 μV | |
±200 mV | 1 μV | 0.02%+120 μV | 4 μV | |
溫(wen)度系(xi)數 | ±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
單(dan)通道最大(da)輸出(chu)功(gong)率(lv) | 30W: ±[email protected];30W: ±200 [email protected];18W: ±6 V@3A | |||
設置時間 | <800μs(典型值) | |||
過(guo)沖 | <±0.1% (典型值，Normal,步(bu)進是範圍(wei)的 10% 至(zhi) 90%，滿(man)量(liang)程點(dian)，電阻(zu)性(xing)負(fu)載測試(shi)) | |||
噪(zao)聲 10Hz-20MHz | 6V 電(dian)壓源(yuan)，3A 電阻(zu)負(fu)載，<3 mVrms | |||
[1]精度(du)計(ji)算示例：測試(shi)200mV量(liang)程120mV輸出(chu)的精度(du)，則(ze)允(yun)差為(wei)：
[2]本(ben)儀表(biao)有潛(qian)在的危險(xian)高(gao)壓(±210 V)輸出(chu)到HI /Sense HI/Guard端子(zi)，為防止電(dian)擊，在開(kai)機前必(bi)須(xu)做(zuo)好(hao)相(xiang)關(guan)的安(an)全(quan)防範措(cuo)施。請勿將(jiang)Guard端子(zi)接到任(ren)何(he)輸出(chu)，包括(kuo)短(duan)接到機箱(xiang)地或(huo)是(shi)輸出(chu)LO，否則(ze)會(hui)損壞儀(yi)表(biao)
電(dian)流源指(zhi)標
電(dian)流設置精度(du) | 量(liang)程 | 設置分辨(bian)率(lv) | 精度(du)(1 年)±(% 讀(du)數+偏置(zhi)) | 典型噪聲(sheng)(有效值(zhi))0.1 Hz-10 Hz |
±10 A1 | 50 μA | 0.4% + 40 mA | NA | |
±3 A | 15 μA | 0.05% + 2 mA | 40 μA | |
±1.5 A | 10 μA | 0.02% + 500 μA | 20 μA | |
±150 mA | 1 μA | 0.02% + 25 μA | 5 μA | |
±15 mA | 100 nA | 0.02% + 6 μA | 700 nA | |
±1.5 mA | 10 nA | 0.02% + 250 nA | 16 nA | |
±150 μA | 1 nA | 0.02% + 25 nA | 21 nA | |
±15 μA | 100 pA | 0.02% + 3 nA | 140 pA | |
±1.5 μA | 10 pA | 0.03% + 450 pA | 25 pA | |
±150 nA | 1 pA | 0.05%+250 pA | 5 pA | |
溫(wen)度系(xi)數 | ±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
單(dan)通道最大(da)輸出(chu)功(gong)率(lv) | 30W: ±[email protected];30W: ±200 [email protected];18W: ±6 V@3A | |||
設置時間 | <500 μs(典型值) | |||
過(guo)沖 | <±0.1% (典型值，Normal,步(bu)進是範圍(wei)的 10% 至(zhi) 90%，滿(man)量(liang)程點(dian)，電阻(zu)性(xing)負(fu)載測試(shi)) | |||
1、10A 量(liang)程僅(jin)支持脈(mai)沖模式, 精度(du)為(wei)典型值
電(dian)壓表(biao)指標
電(dian)壓測量(liang)精度(du) | 量(liang)程 | 顯(xian)示分辨(bian)率(lv) | 精度(du)(1 年) ±(% 讀(du)數+偏置(zhi)) |
±200 V | 100 μV | 0.02% + 30 mV | |
±20 V | 10 μV | 0.02% + 2 mV | |
±6 V | 1 μV | 0.02% + 500 μV | |
±200 mV | 100 nV | 0.02% + 120 μV | |
溫(wen)度系(xi)數 | ±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
電(dian)流表指(zhi)標
電(dian)流測量(liang)精度(du) | 量(liang)程 | 顯(xian)示分辨(bian)率(lv) | 精度(du)(1 年) ±(% 讀(du)數+偏置(zhi)) |
±10 A1 | 10 μA | 0.4% + 25 mA | |
±3 A | 10 μA | 0.05% + 2 mA | |
±1.5 A | 1 μA | 0.02% + 500 μA | |
±150 mA | 100 nA | 0.02% + 25 μA | |
±15 mA | 10 nA | 0.02% + 6 μA | |
±1.5 mA | 1 nA | 0.02% + 250 nA | |
±150 μA | 100 pA | 0.02% + 25 nA | |
±15 μA | 10 pA | 0.02% + 3 nA | |
±1.5 μA2 | 1 pA | 0.03% + 450 pA | |
±150 nA2 | 100 fA | 0.05% + 250 pA | |
溫(wen)度系(xi)數 | ±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
1、10A量(liang)程僅(jin)支持脈(mai)沖模式,精度(du)為(wei)典型值
2、小(xiao)電流測量(liang)，建議使(shi)用三(san)同軸線纜連(lian)接(jie)：ForceHi接芯線(xian)，Guard接(jie)內屏(ping)蔽層，外屏(ping)蔽層接(jie)保護地，ForceLo接芯線(xian)，內屏(ping)蔽層不接，外屏(ping)蔽層接(jie)保護地，同軸線的(de)額定絕緣(yuan)電壓不小於(yu)250V。
電(dian)阻(zu)表(biao)指(zhi)標（4 線）
量(liang)程 | 顯(xian)示分辨(bian)率(lv) | 默認(ren)測量(liang)電(dian)流 | 典型精度(du)(1 年)±(% 讀(du)數+偏置(zhi)) |
1 Ω | 1 μΩ | 1.5 A | 0.073% +0.3334 mΩ |
10 Ω | 10 μΩ | 150 mA | 0.057% + 3.334 mΩ |
100 Ω | 100 μΩ | 15 mA | 0.08% + 33.34 mΩ |
1 kΩ | 1 mΩ | 1.5 mA | 0.057% + 333. 4 mΩ |
10 kΩ | 10 mΩ | 150 μA | 0.057% + 3.334 Ω |
100 kΩ | 100 mΩ | 15 μA | 0.06% + 33.34 Ω |
1 MΩ | 1 Ω | 1.5 μA | 0.06% + 333.4 Ω |
10 MΩ | 10 Ω | 0.15 μA | 0.35% + 3.334 kΩ |
100 MΩ | 100 Ω | 0.05 μA | 0.95% + 10 kΩ |
溫(wen)度系(xi)數 | ±(0.15 × 精度(du)指(zhi)標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
手(shou)動(dong)電(dian)流源電(dian)阻(zu)測量(liang)（四線(xian)） | 總(zong)體誤差=測量(liang)電(dian)壓(ya)/電流源設定電流=電阻(zu)讀(du)數x(電壓(ya)源量(liang)程的(de)增(zeng)益誤差百(bai)分比(bi)+電流表量(liang)程的(de)增(zeng)益誤差百(bai)分比(bi)+電流源量(liang)程偏(pian)置(zhi)誤差/設定電流)+(電壓(ya)源(yuan)量(liang)程偏(pian)置(zhi)誤差/設定電流值) 示例：電流源設定電流=1.5A 電壓(ya)測量(liang)量(liang)程=6V 總(zong)體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ | ||
脈(mai)沖源指標（4線）
最(zui)小可(ke)編程脈(mai)寬(kuan) | 100 μs |
脈(mai)寬(kuan)編(bian)程分(fen)辨(bian)率(lv) | 1 μs |
脈(mai)寬(kuan)編(bian)程精度(du) | ±10 μs |
脈(mai)寬(kuan)抖動(dong) | 2 μs |
脈(mai)沖寬度定義 | 如下(xia)圖(tu)所示，從(cong) 10 % 前沿(yan)到 90 % 後沿的時間 |
脈(mai)沖技(ji)術(shu)指(zhi)標 | 最(zui)大電(dian)流限(xian)制 | 最(zui)大脈(mai)沖寬度 | 最(zui)大占空比(bi) |
1 | 0.15 A/200 V | DC,無限(xian)制 | 100% |
2 | 1.5 A/20 V | DC,無限(xian)制 | 100% |
3 | 3 A/6 V | DC,無限(xian)制 | 100% |
4 | 3 A/20 V | 1 ms | 10% |
5 | 10 A/6 V | 1 ms | 10% |
脈(mai)沖源上(shang)升時間（4 線）
輸出(chu) | 量(liang)程 | 典型上(shang)升時間 1,3 | 典型穩定時間 2,3 | 測試(shi)負載 |
電(dian)壓源(yuan) | 200 V | 600 μs | 1.5 ms | 空載 |
20 V | 200 μs | 360 μs | 空載 | |
6 V | 160 μs | 300 μs | 空載 | |
電(dian)流源 | 10 A | 140 μs | 320 μs | 滿(man)載 |
3 A | 120 μs | 280 μs | 滿(man)載 | |
1.5 A | 120 μs | 280 μs | 滿(man)載 | |
150 mA | 120 μs | 280 μs | 滿(man)載 | |
15 mA | 120 μS | 280 μs | 滿(man)載 | |
1.5 mA | 120 μS | 280 μs | 滿(man)載 |
1, 脈(mai)沖前沿從(cong) 10%到 90% 所需(xu)的時間。
2, 脈(mai)沖達到距離(li)最終(zhong)值 1%的(de)所需(xu)的時間。
3, 電(dian)流源測試(shi)基於(yu) 6V 電(dian)壓(ya)量(liang)程下(xia)測試(shi)，105%滿(man)量(liang)程鉗位(wei)設定。
輸出(chu)建立(li)時間
輸出(chu) |
量(liang)程 | 典型輸出(chu)建立(li)時間 |
測試(shi)條(tiao)件 | ||
Fast 1,2 | Normal 1 | Slow1 | |||
電(dian)壓源(yuan) | 200 V | <1.3 ms | <1.5 ms | <2.5 ms |
在(zai)開(kai)路(lu)負(fu)載條(tiao)件下，達到距離(li)最終(zhong)值 0.1% 以(yi)內所需(xu)的時間。 步(bu)進是範圍(wei) 10% 至90%。 |
20 V | <300 μs | <360 μs | <1 ms | ||
6 V | <150 μs | <250 μs | <1 ms | ||
200 mV | <200 μs | <250 μs | <1 ms | ||
電(dian)流源 | 3 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms |
滿(man)載條(tiao)件下，達到距離(li)最終(zhong)值0.1%以(yi)內(對於(yu)3A範圍(wei)，為0.3%)所需(xu)的時間。 步(bu)進是範圍(wei)的10%至(zhi)90%。6V電(dian)壓(ya)量(liang)程，105%滿(man)量(liang)程鉗位(wei)設定。 |
1.5 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
15 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
1.5 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 μA | <250 μs | <300 μs | <1.2 ms | ||
15 μA | <250 μs | <1.2 ms | <2 ms | ||
1.5 μA | <600 μs | <1.2 ms | <5 ms | ||
150 nA | <600 μs | <5 ms | <12 ms | ||
1、輸出(chu)轉換速率(lv)：Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模(mo)式在(zai)不同的(de)量(liang)程或(huo)負(fu)載條(tiao)件下輸出(chu)可能會(hui)出(chu)現較(jiao)大(da)過(guo)沖，過沖敏感(gan)設備建議用(yong) Slow 模(mo)式。
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